[发明专利]一种基于垂直取向石墨烯的超级电容器电极及其制作方法

权利要求书

1.一种基于垂直取向石墨烯的超级电容器电极，其特征在于：该电极由集流体（1）和石墨烯纳米片（2）组成，石墨烯纳米片垂直于集流体表面，每片石墨烯纳米片均有由1～10层石墨烯组成。

2.根据权利要求1所述的一种基于垂直取向石墨烯的超级电容器电极，其特征是：所述集流体材料为金、银、铜、铝、铁、不锈钢、镍或碳。

3.根据权利要求1所述的一种基于垂直取向石墨烯的超级电容器电极，其特征是：所述石墨烯纳米片厚度为1～20纳米，高度为0.05～100微米，宽度为0.01～5微米，相邻石墨烯纳米片间距为0.01～5微米。

4.一种如权利要求1所述的基于垂直取向石墨烯的超级电容器电极的制作方法，其特征在于：加热集流体至600～1000 ^oC，以含碳元素气体作为前驱物气体产生等离子体，将集流体放置在等离子体内，通过等离子体增强化学气相沉积法，在集流体表面直接生长垂直取向石墨烯纳米片，生长5分钟～8小时后，所得表面长有垂直取向石墨烯纳米片的集流体即为超级电容器电极。

5.根据权利要求4所述的一种基于垂直取向石墨烯的超级电容器电极的制作方法，其特征在于：所述等离子体为微波等离子体、射频电感耦合等离子体、射频电容耦合等离子体、超高频等离子体、电子束等离子体或常压正常辉光放电等离子体。

6.根据权利要求4所述的一种基于垂直取向石墨烯的超级电容器电极的制作方法，其特征在于：所述含碳元素气体为甲烷、乙烷、乙炔、乙烯、一氧化碳、二氧化碳或四氟化碳中的一种或多种与氩气、氮气、氦气或氢气的混合气体。