[发明专利]压电振动片及其制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

权利要求书

1.一种压电振动片的制造方法，利用由压电材料所形成的圆片来制造压电振动片，其特征在于，包括：

外形形成工序，通过光刻技术对所述圆片进行蚀刻以形成压电板的外形形状；

电极形成工序，在所述压电板的外表面上构图电极膜以形成一对电极，

该电极形成工序包括：

在所述压电板的表面成膜电极膜的电极膜形成工序；

在所述电极膜上成膜光刻胶膜的光刻胶膜形成工序；

通过用于光刻胶图案而配置了第一开口部的掩模对所述光刻胶膜进行曝光的第一曝光工序；以及

通过在与所述第一开口部的一部分相重合的位置配置了第二开口部的校正掩模进一步对所述光刻胶膜进行曝光的第二曝光工序，

与所述一对电极的间隙相对应的所述第二开口部的开口宽度小于等于与所述间隙相对应的所述第一开口部的开口宽度。

2.如权利要求1所述的压电振动片的制造方法，其特征在于：

在进行所述外形形成工序时形成具有如下部分的压电板的外形形状：平行配置的一对振动臂部；将该一对振动臂部一体地进行固定的基部；以及在所述一对振动臂部的主表面上从该振动臂部的基端部朝向前端部呈纵长状所形成的槽部，

所述一对电极具有形成于所述槽部内的主面电极部；和形成于所述振动臂部侧面上的侧面电极部，

所述一对电极的间隙就是所述主面电极部和所述侧面电极部的间隙。

3.如权利要求1或者2所述的压电振动片的制造方法，其特征在于：

所述第二开口部的所述开口宽度大于等于所述第一开口部的所述开口宽度的0.6倍且小于等于其0.7倍。

4.如权利要求1所述的压电振动片的制造方法，其特征在于：

在进行所述外形形成工序时形成具有平行配置的一对振动臂部和将该一对振动臂部一体地进行固定的基部的压电板的外形形状，

在与所述一对振动臂部的叉部相当的区域，所述第一开口部的所述开口宽度与所述第二开口部的所述开口宽度大致相同。

5.一种压电振动片，其特征在于：

通过权利要求1到权利要求4中任意一项所述的压电振动片的制造方法而制造。

6.一种压电振动器，其特征在于：

具有权利要求5所述的压电振动片。

7.一种振荡器，其特征在于：

权利要求6所述的压电振动器作为振子与集成电路电连接。

8.一种电子设备，其特征在于：

权利要求6所述的压电振动器与计时部电连接。

9.一种电波钟，其特征在于：

权利要求6所述的压电振动器与滤波部电连接。