[发明专利]异物去除设备以及异物去除方法

权利要求书

1.一种从物体去除其上的异物的异物去除设备，包括：

振动器，所述振动器包括物体以及分别设置在物体上的第一电气机械能量转换元件和第二电气机械能量转换元件，所述振动器通过分别施加于第一电气机械能量转换元件和第二电气机械能量转换元件的交流电压而振动，

其中施加于第一电气机械能量转换元件和第二电气机械能量转换元件的交流电压的频率用于在振动器中激励通过叠加彼此不同阶的第一弯曲振动和第二弯曲振动而获得的振动，并且

施加于第一电气机械能量转换元件的交流电压和施加于第二电气机械能量转换元件的交流电压的相位彼此不同。

2.根据权利要求1所述的异物去除设备，还包括控制电路，被配置为设置分别施加于第一电气机械能量转换元件和第二电气机械能量转换元件的交流电压。

3.根据权利要求1所述的异物去除设备，其中分别施加于第一电气机械能量转换元件和第二电气机械能量转换元件的交流电压的频率被设置在第一弯曲振动的谐振频率和第二弯曲振动的谐振频率之间。

4.根据权利要求1所述的异物去除设备，其中第一弯曲振动的多个节点和第二弯曲振动的多个节点布置在同一方向，并且所述第一电气机械能量转换元件和所述第二电气机械能量转换元件是以在同一方向有位置位移的方式设置的。

5.根据权利要求1所述的异物去除设备，其中第一弯曲振动和第二弯曲振动的阶相差1。

6.根据权利要求1所述的异物去除设备，其中，所述控制电路将向所述第一电气机械能量转换元件施加的交流电压和向所述第二电气机械能量转换元件施加的交流电压之间的相位差设置为0°和180°之外的任何值。

7.根据权利要求1所述的异物去除设备，其中，取决于异物在物体上的位置，向所述第二电气机械能量转换元件施加的交流电压相对于向所述第一电气机械能量转换元件施加的交流电压的相位差在大于0°并小于180°的值和大于-180°并小于0°的值之间切换。

8.根据权利要求2所述的异物去除设备，其中，取决于异物的重心的位置和异物与物体的接触位置，向所述第二电气机械能量转换元件施加的交流电压相对于向所述第一电气机械能量转换元件施加的交流电压的相位差在大于0°并小于180°的值和大于-180°并小于0°的值之间切换。

9.根据权利要求2所述的异物去除设备，其中所述控制电路在以下操作之间进行切换：

通过将向所述第一电气机械能量转换元件施加的交流电压和向所述第二电气机械能量转换元件施加的交流电压之间的相位差设置为0°和180°之外的任何值，并在振动器中激励通过叠加彼此不同阶的第一弯曲振动和第二弯曲振动而获得的振动，来驱动所述振动器，以及

通过使一个弯曲振动在所述振动器中产生，来驱动所述振动器。

10.根据权利要求9所述的异物去除设备，其中所述控制电路将向所述第一电气机械能量转换元件施加的交流电压和向所述第二电气机械能量转换元件施加的交流电压之间的相位差设置为0°和180°之外的任何值，并在振动器中激励通过叠加彼此不同阶的第一弯曲振动和第二弯曲振动而获得的振动，从而移动物体上的异物，然后，使一个驻波在所述振动器中产生，从而使物体上的异物跳离。

11.根据权利要求2所述的异物去除设备，包括分别在所述第一电气机械能量转换元件和所述第二电气机械能量转换元件上提供的第一传感器和第二传感器，所述第一传感器和第二传感器用于分别检测所述两个彼此不同阶的弯曲振动的振幅，并且

其中，所述控制电路根据来自所述第一传感器的输出和来自所述第二传感器的输出之间的比率，控制交流电压的频率、振幅以及相位差中的至少一个。

12.根据权利要求2所述的异物去除设备，包括被配置为检测所述振动器的姿态的姿态传感器，并且

其中，所述控制电路设置交流电压的相应相位，以便去除物体上的异物的方向变为相对于重力方向小于90°，物体上的异物的去除方向是从检测到的姿态确定的。

13.根据权利要求1所述的异物去除设备，其中，所述物体是使光穿过的光学部件。

14.根据权利要求1所述的异物去除设备，其中，所述物体是矩形光学部件。

15.根据权利要求1所述的异物去除设备，其中所述物体设置在光路上。