[发明专利]磁头滑块的制造方法及其制造装置

权利要求书

1.一种磁头滑块的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)提供连接有多个磁头滑块元件的长形条；

(2)研磨所述长形条的表面至预定规格；

(3)在研磨之前和/或在研磨的过程中，通过与所述长形条的表面接触的研磨盘上的被降温的研磨媒介来降低所述长形条的所述表面的温度至温度范围为5℃～15℃，其中所述研磨媒介在被施加到研磨盘上并与长形条接触之前被降温；以及

(4)将所述长形条切割成多个独立的磁头滑块。

2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于；所述研磨媒介为研磨剂，所述研磨剂包括研磨油和/或金刚石浆。

3.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于；所述步骤(3)包括降低整个所述长形条的温度。

4.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于；所述步骤(3)包括降低研磨环境的温度。

5.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于；所述步骤(2)包括研磨所述长形条的空气承载面以及与所述空气承载面相对的背面。

6.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，还包括：在步骤(2)之前粗磨所述长形条的底面，并在粗磨之前和/或在粗磨的过程中降低所述底面的温度。

7.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，还包括：在切割所述长形条之前和/或在切割的过程中降低所述长形条的切割面的温度。

8.如权利要求1～7任一项所述的制造方法，其特征在于；控制的温度范围为5℃～10℃。

9.一种磁头滑块的制造装置，其特征在于，包括：

研磨机，用以研磨长形条的表面至预定规格；

制冷装置，用以使研磨媒介在被施加到所述研磨机的研磨盘上并与所述长形条接触之前被降温从而在研磨之前和/或在研磨的过程中降低所述长形条的所述表面的温度至温度范围为5℃～15℃；以及

切割机，用以将所述长形条切割成多个独立的磁头滑块。

10.如权利要求9所述的制造装置，其特征在于：所述研磨机包括用于夹持和控制所述长形条的固定装置、用于研磨所述长形条的研磨盘，以及用于向所述研磨盘施加研磨媒介的研磨媒介提供装置。

11.如权利要求10所述的制造装置，其特征在于：所述研磨媒介为研磨剂，所述研磨剂包括研磨油和/或金刚石浆。

12.如权利要求10所述的制造装置，其特征在于：所述研磨媒介提供装置包括陶瓷环，用于使所述研磨媒介均匀地施加于所述研磨盘上。

13.如权利要求10所述的制造装置，其特征在于：所述制冷装置用于将所述研磨媒介提供装置进行降温。

14.如权利要求9所述的制造装置，其特征在于：所述制冷装置用于降低整个所述长形条的温度。

15.如权利要求9所述的制造装置，其特征在于：所述制冷装置用于降低研磨环境的温度。

16.如权利要求9所述的制造装置，其特征在于：被研磨的所述长形条的表面包括空气承载面以及与所述空气承载面相对的背面。

17.如权利要求9所述的制造装置，其特征在于：还包括用于粗磨所述长形条的底面的粗磨机，所述制冷装置用于在粗磨之前和/或在粗磨的过程中降低所述底面的温度。

18.如权利要求9所述的制造装置，其特征在于：所述制冷装置用于在切割所述长形条之前和/或在切割的过程中降低所述长形条的切割面的温度。

19.如权利要求9～18任一项所述的制造装置，其特征在于：控制的温度范围为5℃～10℃。