[发明专利]LED晶圆的提供装置及方法

权利要求书

1.一种LED晶圆提供装置，包括：

卡座(10)，其装载有多个LED晶圆(99)；

载体(30)，其配备有用于安置所述LED晶圆(99)的多个容器(31)；

排列单元(93)，其排列将被安置于所述载体(30)的所述LED晶圆(99)；

移送机器手(40)，其将所述LED晶圆(99)从所述卡座(10)移送至所述排列单元(93)；

定位装置(20)，其吸附被移送至所述排列单元(93)的所述LED晶圆(99)以及使吸附解除；

摄像单元(80)，其使定位装置(20)固定，来获得所述容器(31)的位置信息；和

LED晶圆装载机器手(95)，其将所述定位装置(20)和所述摄像单元(80)从所述排列单元(93)移送至所述载体(30)。

2.如权利要求1所述的LED晶圆提供装置，其中，所述摄像单元(80)包括：

低倍率相机(50)，其将所述容器(31)的位置以低倍率来摄像；和

高倍率相机(60)，其将所述容器(31)的位置以高倍率来摄像。

3.一种LED晶圆提供方法，包括以下步骤：

旋转LED晶圆(99)，使所述LED晶圆(99)的平直面(98)朝一个方向；

定位装置(20)吸附所述LED晶圆(99)；

利用LED晶圆装载机器手(95)将所述LED晶圆(99)移送至载体(30)；

以低倍率相机(50)将配备在所述载体(30)中的容器(31)的位置摄像；

以高倍率相机(60)将配备在所述载体(30)中的容器(31)的位置摄像；以及

将所述LED晶圆(99)安置在所述容器(31)中。

4.如权利要求3所述的LED晶圆提供方法，其中，所述低倍率相机(50)在一个支点中将所述容器(31)的整体摄像，且所述高倍率相机(60)在多个支点中将所述容器(31)的边缘一部分摄像。

5.一种LED晶圆提供装置，包括：

提供单元(360)，其用于提供载体(330)；

安置单元(370)，其用于将LED晶圆(399)安置在所述载体(330)中；

回收单元(380)，其用于回收所述载体(330)；

Y轴载体移送机器手(390)，其来回移动使所述载体(330)从所述提供单元(360)被移送至所述安置单元(370)和所述回收单元(380)；

排列单元(393)，其执行所述LED晶圆(399)的排列；

移送机器手(340)，其将装载在卡座(310)的所述LED晶圆(399)移送至所述排列单元(393)；和

LED晶圆装载机器手(395)，其被配置为在所述安置单元(370)内与所述Y轴载体移送机器手(390)直交，并来回移动，拾取被移送至所述排列单元(393)的所述LED晶圆(399)并将其移送至所述载体(330)。

6.如权利要求5所述的LED晶圆提供装置，其进一步包括：

载体排列单元，其为了使多个LED晶圆(399)安置于所述载体(330)中，真空吸附所述载体(330)使其360°旋转。