[发明专利]镨掺杂钛酸盐发光薄膜、制备方法及其应用

权利要求书

1.一种镨掺杂钛酸盐发光薄膜，其特征在于：其化学表达式为MeTi_1-xO₃:xPr³⁺，其中MeTi_1-xO₃是基质，Pr元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。

2.根据权利要求1所述的镨掺杂钛酸盐发光薄膜，其特征在于，所述镨掺杂钛酸盐发光薄膜的厚度为80nm～300nm。

3.一种镨掺杂钛酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将衬底装入化学气相沉积设备的反应室，并将反应室的真空度设置为1.0×10^-2Pa～1.0×10^-3Pa；

调节衬底的温度为250℃～650℃，转速为50转/分钟～1000转/分钟，在氩气气流的载体下，根据MeTi_1-xO₃:xPr³⁺各元素的化学计量比将(DPM)₂Me，四异丙醇钛和Pr(DPM)₃通入反应室内；及

通入氧气，进行化学气相沉积得到化学表达式为MeTi_1-xO₃:xPr³⁺的镨掺杂钛酸盐发光薄膜，其中MeTi_1-xO₃是基质，Pr元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。

4.根据权利要求3所述的镨掺杂钛酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述(DPM)₂Me，四异丙醇钛和Pr(DPM)₃的摩尔比为1∶(0.92～0.99)∶(0.01～0.08)。

5.根据权利要求3所述的镨掺杂钛酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述氩气气流量为5～15sccm，所述氧气气流量为10～200sccm。

6.根据权利要求3所述的镨掺杂钛酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，将所述衬底装入所述反应室后将所述衬底在600℃～800℃下热处理10分钟～30分钟。

7.一种薄膜电致发光器件，包括依次层叠的衬底、阳极层、发光层以及阴极层，其特征在于，所述发光层为镨掺杂钛酸盐发光薄膜，该镨掺杂钛酸盐发光薄膜的化学表达式为MeTi_1-xO₃:xPr³⁺，其中MeTi_1-xO₃是基质，Pr元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，Me为Mg、Ca、Sr或Ba。

8.根据权利要求7所述的薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述发光层的厚度为80nm～300nm。 

9.一种薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供具有阳极的衬底；

在所述阳极上形成发光层，所述发光层为镨掺杂钛酸盐发光薄膜，该镨掺杂钛酸盐发光薄膜的化学表达式为MeTi_1-xO₃:xPr³⁺，其中MeTi_1-xO₃是基质，Pr元素是激活元素，0.01≤x≤0.08，Me为Mg、Ca、Sr或Ba；及

在所述发光层上形成阴极。

10.根据权利要求9所述的薄膜电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述发光层的制备包括以下步骤：

将衬底装入化学气相沉积设备的反应室，并将反应室的真空度设置为1.0×10^-2Pa～1.0×10^-3Pa；

调节衬底的温度为250℃～650℃，转速为50转/分钟～1000转/分钟，在氩气气流的载体下，根据MeTi_1-xO₃:xPr³⁺各元素的化学计量比将(DPM)₂Me，四异丙醇钛和Pr(DPM)₃通入反应室内，氩气气流量为5～15sccm；及

通入氧气，氧气气流量为10～200sccm；进行化学气相沉积薄膜在所述阳极上形成发光层。