[发明专利]一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种化工工艺及设备，具体涉及一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统。

背景技术

钢瓶是硅烷气体的一种主要包装容器，一般用钢管热旋压成型，内部做喷丸处理，国家规定钢瓶要定期检验，检验方法主要是做水压试验。

在加工或检验过程中，钢瓶内部有可能存在颗粒、油污、生锈等现象，由于钢瓶的特殊结构，目前还不能有效清洁钢瓶内壁，这样充入高纯硅烷气体，会造成硅烷气体的二次污染，影响气体纯度，并存在安全隐患。

发明内容

本发明的目的是为了克服钢瓶对硅烷气体的二次污染，提供了一种高纯硅烷钢瓶清洗方法。

本发明的另一个目的提供一种与上述清洗方法相配套的高纯硅烷钢瓶清洗系统。

本发明采用的技术方案是：

一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，包括以下步骤：

（1）用内窥镜检查钢瓶，确定钢瓶内的污染状况；

（2）用钢瓶翻转机将钢瓶倒置，在钢瓶口固定有喷嘴，喷嘴与清洗管线连接；

（3）根据钢瓶内壁情况选择相应的洗涤液，用泵加压到5-10Bar（巴）后通过上述喷嘴喷入钢瓶，清洗3-10分钟；

（4）将去离子水储罐中的纯水用高压泵加压到30-60Bar，然后送到热交换器，加热到50-80℃后通过上述喷嘴喷入钢瓶再次清洗2-10分钟；

（5）然后通入纯度为5.0N（当量浓度）以上的氮气通过上述喷嘴喷入钢瓶吹干钢瓶内壁；

（6）用内窥镜检查钢瓶状况，钢瓶内无生锈、无油污、无颗粒等为合格。

作为优选，上述步骤（3）中洗涤液加压到6Bar。

作为优选，上述步骤（3）中洗涤液清洗时间为5分钟。

作为优选，上述步骤（4）中纯水加压到40Bar。

作为优选，上述步骤（4）中纯水加热到60℃。

作为优选，上述步骤（4）中纯水清洗时间为3分钟。

作为优选，上述步骤（5）中通入氮气的纯度为6.0N。

上述高纯硅烷钢瓶清洗方法的配套清洗系统包括：去离子水储罐、高压泵、热交换器、钢瓶翻转机、钢瓶、高纯氮气进气管、洗涤液进液管和喷嘴，所述钢瓶倒置安装在钢瓶翻转机上，所述去离子水储罐通过管线与高压泵连接，高压泵通过管线与热交换器连接，热交换器通过管线连接至喷嘴，该喷嘴固定在所述钢瓶的钢瓶口处，所述热交换器与喷嘴之间的管线上连接有高纯氮气进气管、洗涤液进液管。

有益效果：本发明很好地解决了钢瓶内部对硅烷气体的二次污染问题，可以保存5.0N的硅烷气体，使产品更加稳定。

附图说明

图1为本发明的系统构成示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明：

实施例1

如图1所示：一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，包括以下步骤：

（1）用内窥镜检查钢瓶5，确定钢瓶5内的污染状况；

（2）用钢瓶翻转机4将钢瓶5倒置，在钢瓶口固定有喷嘴，喷嘴与清洗管线连接；

（3）根据钢瓶内壁情况选择相应的洗涤液，用泵加压到5Bar后通过上述喷嘴喷入钢瓶5，清洗3分钟；

（4）将去离子水储罐1中的纯水用高压泵2加压到30Bar，然后送到热交换器3，加热到50℃后通过上述喷嘴喷入钢瓶5再次清洗2分钟；

（5）然后通入纯度为6.0N的氮气通过上述喷嘴喷入钢瓶5吹干钢瓶内壁；

（6）用内窥镜检查钢瓶5状况，钢瓶5内无生锈、无油污、无颗粒等为合格。

上述高纯硅烷钢瓶清洗方法的配套清洗系统包括：去离子水储罐1、高压泵2、热交换器3、钢瓶翻转机4、钢瓶5、高纯氮气进气管、洗涤液进液管和喷嘴，所述钢瓶5倒置安装在钢瓶翻转机4上，所述去离子水储罐1通过管线与高压泵2连接，高压泵2通过管线与热交换器3连接，热交换器3通过管线连接至喷嘴，该喷嘴固定在所述钢瓶5的钢瓶口处，所述热交换器3与喷嘴之间的管线上连接有高纯氮气进气管、洗涤液进液管。

实施例2

一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，包括以下步骤：

（1）用内窥镜检查钢瓶5，确定钢瓶5内的污染状况；

（2）用钢瓶翻转机4将钢瓶5倒置，在钢瓶口固定有喷嘴，喷嘴与清洗管线连接；

（3）根据钢瓶内壁情况选择相应的洗涤液，用泵加压到10Bar后通过上述喷嘴喷入钢瓶5，清洗10分钟；