[发明专利]多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统

权利要求书

1.一种多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统，包括步进电机机械系统、多路电容式MEMS加速度传感器、多路数据采集电路、单片机控制电路、上位机和电源管理系统，其特征在于：步进电机机械系统连接多路电容式MEMS加速度传感器，多路电容式MEMS加速度传感器连接多路数据采集电路，多路数据采集电路连接单片机控制电路，所述的步进电机机械系统包括铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体、步进电机和步进电机底座，步进电机安装在步进电机底座上，多路数据采集电路安装在铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体内部，在铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体的表面预留多路数据采集接口，多个MEMS电容式加速度传感器与数据采集接口相连接，在铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体的侧边中心轴处设置步进电机安装孔，步进电机轴与步进电机安装孔连接；电源管理电路分别电气连接步进电机、多路电容式MEMS加速度传感器、多路数据采集电路和单片机控制电路；上位机通过RS232串口或者USB口与单片机控制电路电气连接。

2.根据权利要求1所述的多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统，其特征在于：所述的数据采集电路主要包括AD采集电路和多路模拟开关，所述的AD采集电路与多路模拟开关电气连接，所述的AD采集电路采用ADS1282芯片。

3.根据权利要求1所述的多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统，其特征在于：所述的单片机控制电路采用LPC2119作为处理器。

4.根据权利要求1、2或3所述的多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统，其特征在于：系统通电后，步进电机的转动圈数和速度是由上位机软件进行输入，步进电机转动圈数和速度能够进行调节，上位机通过RS232串口或者USB口将控制命令发送给控制步进电机的单片机，单片机控制步进电机机械系统带动铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体转动，从而带动多个电容式加速度传感计一起转动，步进电机旋转时，由AD数据采集电路分时采集多个MEMS加速度传感器的加速度值，单片机控制电路将采集到得MEMS电容式加速传感器的加速度值通过RS232串口或USB口发送到上位机，上位机实时接收RS232串口或USB口的数据，接收到数据包后，上位机软件对数据包数据进行校验，通过奇偶校验，是需要接收的数据包数据时，解析数据包数据，并对需要电容补偿的MEMS加速度传感器的号码进行判断，分析数据，对求解的电容进行计算，得到需要补偿的电容值，从而完成MEMS电容式加速度计的零点偏移的测量，通过对电容阵列的重新压焊完成零点偏移的补偿。