[发明专利]一种光刻照明系统

权利要求书

1.一种光刻照明系统，包括：高压汞灯、耦合透镜组、石英棒、中继透镜组、掩模板，汞灯发出的光经耦合透镜组会聚，在石英棒中经过多次全反射形成均匀照明光，经过中继透镜组放大，在掩模板上形成具有一定数值孔径、尺寸和均匀性的照明视场，其特征在于：所述中继透镜组用于提升照明视场内边缘视场光照强度。

2.如权利要求1所述的光刻照明系统，其特征在于：所述耦合透镜组具有变焦功能，用于改变耦合镜组输出端面光束的数值孔径。

3.如权利要求1或2所述的光刻照明系统，其特征在于，所述耦合透镜组包含：

具有正光焦度的第一透镜组G1和具有正光焦度的第二透镜组G2；所述第一透镜组G1至少包含两片透镜；所述第二透镜组G2至少包含两片透镜。

4.如权利要求3所述的光刻照明系统，其特征在于：所述第一透镜组G1至少包含一个弯月式的正透镜，以及一个双凸式的正透镜；所述第二透镜组G2至少包含一个弯月式的正透镜，以及一个弯月式的正透镜。

5.如权利要求1或2所述的光刻照明系统，其特征在于：所述耦合透镜组包含有一可移动镜片，设置在所述耦合透镜组的入射端，用于通过移动所述可移动镜片的位置，改变所述耦合透镜组输出端出射光束的数值孔径。

6.如权利要求5所述的光刻照明系统，其特征在于：所述出射光束的数值孔径的变化范围为0.32至0.34。

7.如权利要求1所述的光刻照明系统，其特征在于，所述中继透镜组包含：

具有正光焦度的第三透镜组G3，具有正光焦度的第四透镜组G4以及具有正光焦度的第五透镜组G5；所述第三透镜组G3至少包含三片透镜，所述第四透镜组G4至少包含两片透镜，所述第五透镜组G5至少包含三片透镜。

8.如权利要求7所述的光刻照明系统，其特征在于：所述第三透镜组G3至少包含一个弯月式的正透镜，一个双凸式的正透镜以及一个弯月式的负透镜；第四透镜组G4至少包含一个弯月式正透镜以及一个双凸式的正透镜；第五透镜组G5至少包含一个双凹式负透镜，一个弯月式正透镜以及一个双凸式正透镜。

9.如权利要求1所述的光刻照明系统，其特征在于：所述光刻照明系统的像方工作距大于100mm。