[发明专利]液滴排出装置

权利要求书

1.一种液滴排出装置，其特征在于，具备：

排出头，其相对于基材在沿着预定平面的方向相对移动，排出由有源光线硬化的液体的液滴；

照射部，其对前述基材上的前述液滴照射前述有源光线；以及

保持装置，其将透射前述有源光线的盖部件保持为可以在与前述预定平面平行的方向装卸。

2.根据权利要求1所述的液滴排出装置，其特征在于，

前述照射部具有框体，所述框体具有在与前述基材相对的一侧开口的开口部且该框体收置前述有源光线的光源；

前述保持装置具有在固定位置与解除位置之间可以移动地安装于前述框体的固定部件，所述固定位置是所述固定部件在前述盖部件封闭前述开口部的位置将前述盖部件固定于前述框体的位置，所述解除位置是所述固定部件从所述固定位置在与前述预定平面正交的方向离开而解除前述盖部件相对于前述框体的固定的位置。

3.根据权利要求2所述的液滴排出装置，其特征在于，

前述固定部件通过紧固部件安装于前述框体；

前述盖部件向前述框体的固定方向与由前述紧固部件形成的前述固定部件的紧固方向设定于不同的方向。

4.根据权利要求3所述的液滴排出装置，其特征在于，

前述紧固部件在头部的外周设置有握持部。

5.根据权利要求2～4中的任意一项所述的液滴排出装置，其特征在于，

前述固定部件具有载置部和突部，所述载置部载置前述盖部件，所述突部至少在夹着前述载置部的前述相对移动方向两侧比前述载置部突出而设置。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的液滴排出装置，其特征在于，

前述照射部夹着前述排出头配置于前述相对移动方向的两侧。

7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的液滴排出装置，其特征在于，前述排出头对设置于前述基材的半导体器件排出前述液滴。