[发明专利]一种污染测试装置及方法有效

专利信息
申请号: 201210041162.0 申请日: 2012-02-22
公开(公告)号: CN103293271A 公开(公告)日: 2013-09-11
发明(设计)人: 俞芸;罗晋;张洪博;金敏 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00;G01N15/10
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 污染 测试 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种污染测试装置,其特征在于包括进风管(1)、静压腔(2)、过滤器(3)、工作腔体(4)、固定孔板(5)、回风孔板(6)、回风腔(7)和回风管(8),其中进风管(1)一端连接外部气源,另一端连接静压腔(2),过滤器(3)设置在静压腔(2)和工作腔体(4)之间,工作腔体(4)的背面设置有开孔,固定孔板(5)设置在工作腔体(4)的底部,回风孔板(6)设置在工作腔体(4)和回风腔(7)之间,回风管(8)一端连接回风腔(7),另一端连接进风管(1)。

2.根据权利要求1所述的污染测试装置,其特征在于,其中所述进风管(1)连接静压腔(2)的一端是连接静压腔(2)的底部。

3.根据权利要求1所述的污染测试装置,其特征在于,静压腔(2)的厚度为300-600mm。

4.根据权利要求1所述的污染测试装置,其特征在于,过滤器(3)将气源从Class 1000级提高到Class 1级。

5.根据权利要求1所述的污染测试装置,其特征在于,回风孔板(6)上的孔为Φ20mm。

6.根据权利要求1所述的污染测试装置,其特征在于,固定孔板(5)设置在距离工作腔体底部50mm处。

7.根据权利要求6所述的污染测试装置,其特征在于,固定孔板(5)上有Φ12mm的螺纹孔,孔间距为50mm。

8.一种利用权利要求1-7中任意一项所述的污染测试装置的污染测试方法,其特征在于:

a)将待测试件用螺钉固定在固定孔板上;

b)将测试工具或传感器的采样管经工作腔体背面的开孔伸到待测试件下风向处;

c)设定环境变量值,打开气源吹扫后,测试工具或传感器进行采样,得到一组数据;

d)改变环境变量值,测试工具或传感器重复采样,得到不同环境变量下的数据;

e)根据得到的数据,绘制不同环境变量值下待测试件释放污染的特性曲线。

9.根据权利要求8所述的污染测试方法,其特征在于,其中步骤b)中测试工具为颗粒计数器。

10.根据权利要求8所述的污染测试方法,其特征在于,其中步骤b)中测试工具或传感器的采样管伸到待测试件下风向2-5cm处。

11.根据权利要求8所述的污染测试方法,其特征在于,其中步骤c)和步骤d)中的环境变量值是空气的温度、流速和压力值。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司,未经上海微电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210041162.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top