[发明专利]凸块封装结构及凸块封装方法有效
申请号: | 201210041079.3 | 申请日: | 2012-02-22 |
公开(公告)号: | CN102593023A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 王之奇;王宥军;俞国庆;王琦;喻琼;王蔚 | 申请(专利权)人: | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603;H01L23/488;H05K3/34;H05K1/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 215026 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 结构 方法 | ||
技术领域
本发明涉及芯片封装领域,特别涉及一种晶圆级封装的凸块封装结构及凸块封装方法。
背景技术
随着可携式及高性能微电子产品向短、小、轻、薄化方向发展,传统打线方式(Wire Bonding)作为晶片与各式基材结合的封装技术已不能满足现在消费电子产品的需求,取而代之的凸块封装成为晶圆级封装的关键技术。
凸块封装被广泛应用于平面显示器的驱动芯片、影像传感芯片、RFID等封装中。现有的凸块封装工艺包括如下步骤:
请参考图1,提供待封装芯片,所述待封装芯片包括:基底10,位于基底10表面的焊垫12,位于基底10表面且覆盖所述焊垫12部分表面的钝化层13;
请参考图2,在所述焊垫12和所述钝化层13表面形成凸块14,所述凸块14材料为金属;
请参考图3,在所述凸块14表面形成焊料,所述焊料为锡铅,通过焊料将所述凸块14与印刷电路板(Printed Circuit Board,PCB)20表面的电极21电连接,所述电极21位置与凸块14对应。
在公开号为CN100390983C的中国专利文件中,还可以发现更多与凸块封装相关的信息。
但是,随着待封装芯片电极数目不断增多,使得封装后凸块间距不断减小,较常用的凸块焊接材料为锡铅,凸块作为与基材结合的桥梁,后续与PCB板等匹配时容易出现过剩的变形,导致凸块间短路。
且随着待封装芯片的进一步发展,凸块的面积也随之缩小,使得凸块与PCB板上的电极的接触面积减小,封装的难度增加,且封装后的凸块封装结构良率低。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种封装简易且良率高的凸块封装结构及凸块封装方法。
为解决上述问题,本发明提供一种凸块封装方法,包括:提供待封装衬底,所述待封装衬底表面具有焊垫,焊垫表面具有凸块;在所述待封装衬底表面形成覆盖所述凸块的异向导电胶层;提供PCB板,所述PCB板具有突出PCB板表面的电极,所述电极位置与凸块位置对应;将PCB板与待封装衬底压合,使得所述电极与所述凸块位置正对并且PCB板表面与异向导电胶层表面接触,其中,位于所述凸块与所述电极间的异向导电胶层受到垂直所述封装衬底表面的压力。
可选的,所述异向导电胶层材料为异向导电薄膜。
可选的,所述异向导电胶层组成为绝缘胶材中分散着导电粒子。
可选的,所述异向导电胶层组成为为胶状环氧树脂中分散着导电粒子。
可选的,所述凸块的形成步骤为:在所述焊垫表面形成光刻胶柱,所述光刻胶柱暴露出部分所述焊垫表面;在所述焊垫表面形成覆盖所述光刻胶柱的导电层。
可选的,所述凸块的形成步骤为:在所述焊垫两侧的待封装衬底表面形成光刻胶柱;在所述焊垫表面形成覆盖所述光刻胶柱表面和位于所述焊垫表面的光刻胶柱侧壁的导电层。
可选的,所述凸块的形成步骤为:在所述焊垫一侧的待封装衬底表面形成光刻胶柱;在所述焊垫表面形成覆盖所述光刻胶柱表面和位于所述焊垫表面的光刻胶柱侧壁的导电层。
可选的,所述导电层为铝层、镍层和金层的堆叠结构。
可选的,所述凸块的形成步骤为:采用物理气相沉积工艺形成覆盖所述焊垫和待封装衬底的金属膜;在所述金属膜表面形成光刻胶图形,所述光刻胶图形覆盖与所述焊垫对应的金属膜;以所述光刻胶图形为掩膜,刻蚀所述金属膜直至暴露出待封装衬底,形成凸块。
可选的,所述凸块的形成步骤为:提供金属板,将所述金属板与待封装衬底键合;在所述金属板表面形成光刻胶图形,所述光刻胶图形覆盖与所述焊垫对应的金属板;以所述光刻胶图形为掩膜,采用湿法刻蚀或干法刻蚀所述金属板,直至暴露出待封装衬底,形成凸块。
可选的,所述凸块为单一覆层或多层堆叠结构。
可选的,所述异向导电胶层表面高于所述凸块表面。
可选的,所述待封装衬底表面具有钝化层,且所述钝化层覆盖部分所述焊垫表面。
本发明还提供一种凸块封装结构,包括:待封装衬底,所述待封装衬底表面具有焊垫,焊垫表面具有凸块;位于所述待封装衬底表面且覆盖所述凸块的异向导电胶层;与所述异向导电胶层粘合的PCB板,所述PCB板表面具有突出PCB板表面的电极,所述电极位置与凸块位置对应,位于所述凸块与所述电极间的异向导电胶层受到垂直所述封装衬底表面的压力。
可选的,所述异向导电胶层材料为异向导电薄膜。
可选的,所述异向导电胶层组成为绝缘胶材中分散着导电粒子。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州晶方半导体科技股份有限公司,未经苏州晶方半导体科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210041079.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造