[发明专利]衍射光学元件及其制造方法有效
| 申请号： | 201210040533.3 | 申请日： | 2012-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN102645688A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 岩田研逸 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B1/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种衍射光学元件，包括多个光栅部分，所述多个光栅部分包括连续地形成在其表面上的光栅光学有效表面和光栅壁表面，其中：
所述多个光栅部分的各个光栅光学有效表面包括形成在其上的Al2O3层；并且
所述多个光栅部分的各个光栅壁表面包括形成在其上的Al层。
2.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其中，所述Al层具有2.0g/cm3或更大并且2.7g/cm3或更小的膜密度以及50nm或更大并且1μm或更小的膜厚度，并且所述Al2O3层具有0.4g/cm3或更大并且1.0g/cm3或更小的膜密度以及5nm或更大并且30nm或更小的膜厚度。
3.一种衍射光学元件的制造方法，包括：
在基底基板的表面上形成多个光栅部分，所述多个光栅部分连续地包括光栅光学有效表面和光栅壁表面；
形成Al层，以使得膜形成粒子对于所述多个光栅部分的各个光栅壁表面垂直入射，并对于所述多个光栅部分的各个光栅光学有效表面倾斜入射；以及
从将对于所述各个光栅光学有效表面垂直入射的方向执行所述Al层的氧化处理，以使得所述各个光栅光学有效表面上的Al层变为Al2O3层。
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