[发明专利]可实时测量的同步相移斐索干涉装置

权利要求书

1.一种可实时测量的同步相移斐索干涉装置，包括照明单元、干涉单元、同步相移单元，其特征在于：所述干涉单元包括设置在光路上的非偏振分光棱镜、第一1/4波片和样品，样品平行于1/4波片的表面放置；所述第一1/4波片的主轴方向和照明光的偏振方向成45°角；所述同步相移单元包括依次设置在非偏振分光棱镜反射光路方向的第二1/4波片、平行分光单元、滤波单元、偏振单元以及CCD相机；所述第二1/4波片的主轴方向分别与物光和参考光偏振方向成45°角。

2.根据权利要求1所述的同步相移斐索干涉装置，其特征在于：所述平行分光单元包括平行放置在第二1/4波片后的第一光栅和第二光栅；所述滤波单元包括由第三透镜和第四透镜组成的望远镜系统，以及设置在第三透镜后焦面上的光阑；所述偏振单元是放置在第四透镜后的偏振掩膜板。

3.根据权利要求2所述的同步相移斐索干涉装置，其特征在于：所述偏振掩模板由偏振方向依次成45°角的4片偏振片排列组成的2×2阵列。

4.根据权利要求3所述的同步相移斐索干涉装置，其特征在于：所述第一光栅和第二光栅是振幅型光栅或相位型光栅，所述第一光栅和第二光栅的周期相同。

5.根据权利要求4所述的同步相移斐索干涉装置，其特征在于：所述第一光栅和第二光栅是相位阶为π的二进制二维相位光栅。

6.根据权利要求1至5任一所述的同步相移斐索干涉装置，其特征在于：所述照明单元包括激光器，由第一透镜和第二透镜组成的扩束准直系统，第一透镜后焦平面上设置有针孔滤波器。

7.根据权利要求6所述的同步相移斐索干涉装置，其特征在于：所述第一1/4波片的表面平整度要求小于1/50波长。