[发明专利]半导体背散射电子探测器

权利要求书

1.一种半导体背散射电子探测器，其特征在于：包括衬板（1）、设置在所述衬板（1）上的四个长方形硅片（2,3,4,5）和电子束孔（6），四个长方形硅片（2,3,4,5）内分别设置有导线（8,9,10,11）并形成四个独立的单元，四个长方形硅片（2,3,4,5）首尾相接围成一个正方形区域（7），所述电子束孔（6）位于所述正方形区域（7）内。

2.如权利要求1所述的半导体背散射电子探测器，其特征在于，所述四个长方形硅片（2,3,4,5）的大小形状相同，且所述四个长方形硅片（2,3,4,5）的长边大于所述正方形区域（7）的边长。

3.如权利要求2所述的半导体背散射电子探测器，其特征在于，所述电子束孔（6）的形状为正方形。

4.如权利要求3所述的半导体背散射电子探测器，其特征在于，所述电子束孔（6）的四个边与所述正方形区域（7）的四个边分别平行。

5.如权利要求4所述的半导体背散射电子探测器，其特征在于，所述衬板（1）的形状为正方形。

6.如权利要求5所述的半导体背散射电子探测器，其特征在于，所述电子束孔（6）的四个边与所述衬板（1）的四个边分别平行。

7.如权利要求1-6任一项所述的半导体背散射电子探测器，其特征在于，所述电子束孔（6）位于所述正方形区域（7）中部。

8.如权利要求1-6任一项所述的半导体背散射电子探测器，其特征在于，所述导线（8,9,10,11）位于所述长方形硅片（2,3,4,5）的短边上。

9.如权利要求7所述的半导体背散射电子探测器，其特征在于，所述导线（8,9,10,11）位于所述长方形硅片（2,3,4,5）的短边上。