[发明专利]物理量传感器及电子设备

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：

基板；

第1移位部和第2移位部，它们配置在所述基板上的空间平面内，并具有旋转轴；

固定电极部，其设置在所述基板的分别与所述第1移位部以及第2移位部相对的位置处；

支承部，其支承所述第1移位部和第2移位部各自的所述旋转轴；

固定部，其经由弹簧部支承所述支承部；以及

驱动部，其使所述支承部在振动方向上振动，

所述第1移位部和第2移位部能够以所述旋转轴为轴相对于所述空间平面在垂直方向上移位，

所述旋转轴分别被设置成偏离所述第1移位部或第2移位部的重心，

所述第1移位部的所述旋转轴与所述第2移位部的所述旋转轴从所述重心偏离的方向彼此相反。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述旋转轴分别被配置成与所述支承部的所述振动方向平行。

3.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第1移位部和所述第2移位部被配置成相互对称。

4.一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：

基板；以及

第1振动体和第2振动体，它们配置在所述基板上的空间平面内，

所述第1振动体具有：具备旋转轴的第1移位部和第2移位部；以及支承所述第1移位部和所述第2移位部的各个所述旋转轴的第1支承部，

所述第2振动体具有：具备旋转轴的第3移位部和第4移位部；以及支承所述第3移位部和所述第4移位部的各个所述旋转轴的第2支承部，

所述物理量传感器还具有：

固定电极部，其设置在所述基板的分别与所述第1移位部、第2移位部、第3移位部、第4移位部相对的位置处；

固定部，其经由弹簧部分别支承所述第1支承部和第2支承部；以及

驱动部，其分别使所述第1支承部和第2支承部振动，

所述第1振动体和所述第2振动体在彼此相反的方向上振动，

所述第1移位部、第2移位部、第3移位部、第4移位部能够以所述旋转轴为轴相对于所述空间平面在垂直方向上移位，

所述旋转轴分别被设置成偏离所述第1移位部、第2移位部、第3移位部、第4移位部的重心，

所述第1移位部的所述旋转轴与所述第2移位部的所述旋转轴从所述重心偏离的方向彼此相反，

并且，所述第3移位部的所述旋转轴与所述第4移位部的所述旋转轴从所述重心偏离的方向彼此相反。

5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第1振动体和第2振动体通过连结弹簧相互连接。

6.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，

在设所述第1移位部与和其相对的所述固定电极部之间的静电电容为C1、

所述第2移位部与和其相对的所述固定电极部之间的静电电容为C2、

所述第3移位部与和其相对的所述固定电极部之间的静电电容为C3、

所述第4移位部与和其相对的所述固定电极部之间的静电电容为C4时，

所述物理量传感器的输出值为

(C1+C2)-(C3+C4)。

7.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

该物理量传感器检测绕在平面视图中与所述振动方向垂直的方向的轴产生的角速度。

8.一种电子设备，其特征在于，

该电子设备具有权利要求1所述的物理量传感器。