[发明专利]金属有机化合物化学气相沉积加热器制作方法

权利要求书

1.金属有机化合物化学气相沉积加热器制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，将并排的加热丝在加热状态下，嵌入一事先加工好的模具的槽内，模具上开槽的图形与和尺寸与加热丝的最终排布相匹配，模具的槽深比加热丝的截面高度小0.2-0.5mm；

步骤二，将嵌入槽中的加热丝和模具一起放置在氢气气氛保护或者真空加热炉中加热，使加热丝的形状固定；

步骤三，将定型的加热丝和模具一起，放置在平面磨削设备上对加热体进行磨削加工，将排布好的加热丝的高点去除，获得平面度良好的加热体；

步骤四，从模具中取出排布好的加热丝，清洗干净，去除残留的切削液、杂质和氧化皮；

步骤五，将清洗干净的排布好的加热丝与电极、支撑件连接，获得完整的加热器。

2.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器制作方法，其特征在于：所述加热丝单边长度为1-3mm。

3.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器制作方法，其特征在于：步骤二中的加热温度为900℃-1100℃。

4.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器制作方法，其特征在于：所述加热丝采用钨、钨合金、铼金属丝。