[发明专利]具有多种波域检索光源的晶粒检视机台无效
| 申请号： | 201210034911.7 | 申请日： | 2012-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN102680208A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 林立伦;黄慧儒;萧志伟 | 申请（专利权）人： | 隆达电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 多种 检索 光源 晶粒 检视 机台 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有多种波域检索光源的晶粒检视机台，包含一个承置平台，以及一个检索光源装置，该承置平台用于承载一片贴覆在胶膜上并分割成多个发光二极管晶粒的晶圆，而该检索光源，装置位于该承置平台上方；其特征在于：
该检索光源装置具有多个光源模块，每一个光源模块包括多个发出同一波域范围的光的发光二极管灯，且每一个光源模块可被选择地分别供电而令所述发光二极管灯发光照射于该承置平台。
2.根据权利要求1所述的具有多种波域检索光源的晶粒检视机台，其特征在于：所述光源模块的发光二极管灯在供电时能分别发出红光、蓝光或白光。
3.根据权利要求2所述的具有多种波域检索光源的晶粒检视机台，其特征在于：所述光源模块相对于该承置平台的一个中心排列设置成环形。
4.根据权利要求3所述的具有多种波域检索光源的晶粒检视机台，其特征在于：每一个光源模块的多个发光二极管灯相对于该承置平台的中心成径向排列设置。
5.根据权利要求1所述的具有多种波域检索光源的晶粒检视机台，其特征在于：每一个光源模块的多个发光二极管灯相对于该承置平台的一个中心成环形排列。
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