[发明专利]清扫部件、涂布器的清扫方法、清扫装置以及显示器用部件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及例如使用于彩色液晶显示器用彩色滤波器和阵列基板、等离子体显示器用面板、光学滤波器等显示器用部件的制造领域的部件，具体地说，是关于适用于在玻璃基板等被涂布部件表面上排出涂布液而在其上面形成涂布膜的狭缝式涂布机的狭缝喷嘴的排出口和其周围的清扫方法和清扫装置、和使用这些的显示器用部件的制造方法的改进。 

背景技术

彩色液晶显示器由彩色滤波器和TFT用阵列基板等部件构成，彩色滤波器和TFT用阵列基板的制造均包括很多涂布低粘度的液体材料并干燥涂布的液体材料，由此形成涂布膜的制造工序。 

例如，在彩色滤波器的制造工序中，在玻璃基板上形成黑色的光致抗蚀材料的涂布膜，通过光刻法加工成格子状后通过同样的方法在格子之间依次分别形成红色、浅蓝色和绿色的光致抗蚀材料的涂布膜。除此之外，在彩色滤波器的制造中还包括，在涂布各种颜色的光致抗蚀材料而形成涂布膜后，为了获得在彩色滤波器和阵列基板之间注入液晶的空间而形成柱的工序，或者为了使彩色滤波器的表面凹凸平滑而形成外套涂布膜的工序等。 

作为形成涂布膜的涂布装置，从减少涂布液的消耗量、减少消耗电力、进一步边长超过2m的四角形的超大型基板所对应的装置的大型化容易等方面考虑，近年来使用比较多的是狭缝式涂布机(例如，专利文献1)。该狭缝式涂布机具有涂布头，即作为涂布器具有狭缝喷嘴，一边从设置在狭缝喷嘴上的狭缝状的细长的排出口排出涂布液，一边在向一个方向行走的玻璃基板等的叶片状的被涂布部件上形成涂布膜。 

如果用狭缝式涂布机将涂布液涂布一次，则涂布液的一部分以滴状或细长的液体膜的形式残留在包含排出狭缝喷嘴的涂布液的排出口的排出口面 和与排出口面邻接的两个邻接面(以下称之为“唇斜面”)上。一次涂布工序结束后，如果排出口面和唇斜面上残留滴状或细长的液体膜的涂布液的情况下继续进行涂布，则会发生得不到均匀涂布面的问题。 

具体地说，由于排出口面或唇斜面上残留的涂布液和从狭缝喷嘴排出的涂布液一起涂布在基板上，因此发生涂布膜厚度不匀的情况(以下称之为“涂布不匀”)。另外，即使残留的涂布液没被涂布，但以此为起点在涂布方向上产生条纹(以下称之为“涂布条纹”)。将这些涂布不匀和涂布条纹统称为涂布缺陷。用狭缝式涂布机在多个被涂布部件上连续地进行高质量的涂布时，为了避免产生这样的涂布缺陷，必须每一次涂布结束后就清扫狭缝喷嘴的排出口面和唇斜面，由此去除附着而残留的涂布液。 

为了去除这样的残留的涂布液，公开有每次涂布结束或开始之前用清扫部件清扫狭缝喷嘴的排出口面和唇斜面的方法和装置(例如，专利文献2、3)。具体地说，用具有与狭缝喷嘴的排出口面和唇斜面的截面形状相同形状的由合成树脂制造的清扫部件，在排出口面和唇斜面上以滑动的方式进行清扫。通过使该清扫部件与排出口面和唇斜面直接接触而进行滑动，能够完全地去除附着在排出口面和唇斜面上的涂布液，因此即使在被涂布部件上连续地进行涂布，也能够稳定地得到膜厚度均匀、无涂布缺陷的高质量的涂布膜。 

作为涂布液使用感光性丙烯酸类色浆或光致抗蚀剂等高挥发性物质时，尤其要求附着涂布液的去除能力高。这是因为，如果附着在排出口面和唇斜面的涂布液的去除不充分就会残留少量的涂布液，这些残留的涂布液干燥后作为粘着在排出口面和唇斜面的粘着残留物的形式残留。并且，进行下一次涂布时粘着残留物和涂布液接触，由此产生以粘着残留物为起点的涂布条纹，而且还产生由于粘着残留物与排出口面、唇斜面的粘着部分溶化而粘着残留物本身从排出口面和唇斜面脱离而混入到涂布膜并成颗粒状，由此造成进一步的涂布缺陷。 

为此，在专利文献2、3中为了避免发生粘着残留物，使清扫部件与排出口面和唇斜面线接触，以此提高涂布液的去除能力，即清扫能力。进一步，在专利文献2中，一次清扫结束后往附着有涂布液的清扫部件上从喷嘴排出溶剂而将涂布液清洗掉，从而保持清扫部件的清洁并对狭缝喷嘴进行清扫。由此，防止附着在清扫部件的涂布液(粘着残留物)再附着在狭缝喷嘴而造 成涂布膜面的缺陷(涂布缺陷)的情况发生。进一步，为了不让涂布液或溶剂残留在清扫部件而附着在狭缝喷嘴，从与清扫部件相邻设置的吸引口吸引这些液体。 

专利文献： 

专利文献1：特开平6-339656号公报 

专利文献2：特开平11-300261号公报 

专利文献3：特开2008-268906号公报 

发明内容