[发明专利]感光树脂及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种感光树脂，包括如下所示的化合物：

其中R为：

或者

其中R₂，R₃为H、卤素、C₁-C₄烷基、N，N-二甲胺基、N，N-二乙胺基、环己基、甲氧基或乙氧基；x+y＝100，x为0-99之间整数和y为1-100之间的整数。

2.根据权利要求1所述的感光树脂，其特征在于所述y为大于等于10且小于等于90的整数、大于等于35且小于等于80的整数或大于等于35且小于等于40的整数。

3.权利要求1或2所述的感光树脂的制备方法，包括如下步骤：

使聚甲基丙烯酸甲酯和芳基乙酮在强碱和有机溶剂存在条件下反应，获得芳基取代的1，3-二酮产物；

使所述芳基取代的1，3-二酮产物与叠氮在有机溶剂中反应，获得感光树脂。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于所述芳基乙酮为苯乙酮、对甲基苯乙酮、对甲氧基苯乙酮、对N，N-二甲胺基苯乙酮或萘乙酮。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于所述有机溶剂为甲苯、四氢呋喃、二氯甲烷、氯仿、二硫化碳或乙腈。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于所述叠氮为对甲基苯磺酰叠氮或者对乙酰胺基苯磺酰叠氮。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于所述强碱为甲醇钠、乙醇钠或氢化钠。

8.权利要求1或2所述的感光树脂在制备光致抗蚀剂中的应用。

9.一种正性光致抗蚀剂，包含权利要求1或2所述的感光树脂。

10.根据权利要求9所述的正性光致抗蚀剂，其特征在于还包括选自丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇单甲醚、丙二醇甲醚、丁酮和环己酮中的一种或两种溶剂。