[发明专利]一种靶材加工的工具

权利要求书

1.一种靶材加工工具，其特征在于，包括：基板，所述基板包含靶材承载区和固定区；所述靶材承载区位于基板中央区域；所述固定区位于基板边缘区域，用于将基板固定于切割机台上；所述靶材承载区内还包含切割定位部。

2.根据权利要求1所述靶材加工工具，其特征在于，所述切割定位部为中空，包括一个连通孔和至少三个走线槽。

3.根据权利要求2所述靶材加工工具，其特征在于，所述连通孔位于基板中间部分，所述走线槽由连通孔外周向外延伸，所述连通孔与所述走线槽之间相互连通。

4.根据权利要求3所述靶材加工工具，其特征在于，所述各走线槽的中线的延长线相交于所述连通孔的中心。

5.根据权利要求4所述靶材加工工具，其特征在于，相邻两走线槽之间的夹角均相等。

6.根据权利要求5所述靶材加工工具，其特征在于，所述走线槽的形状为矩形或菱形。

7.根据权利要求4所述靶材加工工具，其特征在于，所述连通孔的形状为方形或圆形。

8.根据权利要求1所述靶材加工工具，其特征在于，所述靶材承载区内还包括若干个承载件，其用于固定所述靶材。

9.根据权利要求8所述靶材加工工具，其特征在于，所述承载件是螺纹孔与螺栓组合，或螺栓与螺母组合。

10.根据权利要求1所述靶材加工工具，其特征在于，所述靶材承载区内还包括一个定位销，所述定位销用于防止所述靶材在靶材承载区的定位错误。

11.根据权利要求1所述靶材加工工具，其特征在于，所述固定区由所述基板边缘处的若干个定位孔构成，用于将所述基板固定于切割机台上。

12.根据权利要求1所述靶材加工工具，其特征在于，所述切割机台是慢走丝线切割机台。