[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置

权利要求书

1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：

第一基板，具有透光性；

第二基板，与所述第一基板相对，具有透光性；

第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上；

第二反射膜，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，并且与所述第一反射膜隔着间隙相对；

第一电极，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上；

第二电极，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，并且与所述第一电极相对；以及

防止挠曲膜，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面的相反侧的面上，防止所述第二基板挠曲，并且

所述第二基板具备设置有所述第二反射膜的可动部、以及保持所述可动部且允许所述可动部在基板厚度方向上移动的连接保持部，

所述连接保持部围绕所述可动部连续形成，

在所述可动部的厚度尺寸设为第一厚度尺寸并且所述连接保持部的厚度尺寸设为第二厚度尺寸时，所述第二厚度尺寸小于所述第一厚度尺寸，

所述第二电极以及所述第二反射膜设置在所述第一厚度尺寸的部分上。

2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第二电极设置在所述可动部上。

3.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，还具备：

支持部，其厚度尺寸大于所述连接保持部的厚度尺寸，并且支持所述连接保持部，并且

所述第二电极具备围绕所述第二反射膜形成的内侧电极、以及围绕所述内侧电极形成的外侧电极，

所述内侧电极设置在所述可动部上，

所述外侧电极设置在所述支持部上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

在所述防止挠曲膜的面方向上作用的内部应力的方向、与在所述第二反射膜和所述第二电极的面方向上作用的内部应力的方向为同一方向。

5.一种光模块，其特征在于，具备：

根据权利要求1至4中任一项所述的波长可变干涉滤波器；以及

光接收单元，接收透过所述波长可变干涉滤波器的检查对象光。

6.一种光分析装置，其特征在于，具备：

根据权利要求5所述的光模块；以及

分析处理部，基于由所述光模块的所述光接收单元接收的光，分析所述检查对象光的光特性。

7.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对；

第一反射膜，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上；

第一电极，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上；以及

防止挠曲膜，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面的相反侧的面上，防止所述第二基板挠曲，并且

所述第二基板具备设置有所述第一反射膜和所述第一电极的可动部、以及保持所述可动部并且允许所述可动部在基板厚度方向上移动的连接保持部，

所述连接保持部配置在所述可动部的周围，

在所述可动部的厚度尺寸设为第一厚度尺寸并且所述连接保持部的厚度尺寸设为第二厚度尺寸时，所述第二厚度尺寸小于所述第一厚度尺寸，

第一电极以及第一反射膜设置在所述第一厚度尺寸的部分上。