[发明专利]一种微米尺度材料内耗与模量测量装置

权利要求书

1.一种微米尺度材料内耗与模量测量装置，其特征在于：包括底座，所述底座上安装有真空系统，所述底座内部设有光学显微镜，所述光学显微镜上端设有高速摄像头，所述的光学显微镜的工作台上安装有样品夹持平台，所述的真空系统上设有信号转接口，所述的信号转接口通过激发信号线和视频采集线分别连接静电激发系统和视频采集系统，所述的视频采集系统和静电激发系统信号连接有运算控制系统。

2.根据权利要求1所述的一种微米尺度材料内耗与模量测量装置，其特征在于：所述的真空系统由一金属外罩构成。

3.根据权利要求1所述的一种微米尺度材料内耗与模量测量装置，其特征在于：所述的样品夹持平台由中心夹持平台和外部微调平台两部分组成，所述的中心夹持平台上设有两组相互垂直的滑槽，所述的滑槽内分别设有滑块A和滑块B，所述的外部微调平台上设有三组螺旋测微器，所述的中心夹持平台上设有加热装置。

4.根据权利要求3所述的一种微米尺度材料内耗与模量测量装置，其特征在于：所述的加热装置为一加热圆片。

5.根据权利要求3所述的一种微米尺度材料内耗与模量测量装置，其特征在于：所述的滑块A由基体、设于基体上端面的可旋转圆台及设于可旋转圆台上的金属圆片构成。

6.根据权利要求4所述的一种微米尺度材料内耗与模量测量装置，其特征在于：所述的可旋转圆台通过螺丝与基体固定连接，所述基体中间设有一个螺丝通孔。

7.根据权利要求3所述的一种微米尺度材料内耗与模量测量装置，其特征在于：所述的滑块B包括基体，所述的基体上设有凹槽，所述的凹槽内设有对电极，所述凹槽的一边上设有螺丝孔，所述基体上表面一侧有一螺丝通孔。

8.根据权利要求1所述的一种微米尺度材料内耗与模量测量装置，其特征在于：所述的静电激发系统根据计算机发出的数字信号进行数模转换、放大并加载直流偏压，可同时实现0～1000V直流偏压，0～100V交流信号，模数转化精度为16～24位，模数转化速率最大为100MB/s，所述的静电激发系统分别连接在待测样品端和对电极端。

9.根据权利要求1所述的一种微米尺度材料内耗与模量测量装置，其特征在于：所述的视频采集系统是采用光学显微镜放大微米材料的振动过程，通过显微镜与自制高速摄像头获取振动的实时图片或录像，图片扫屏频率可达1～100000帧/秒，并将视频信号传输到计算机。

10.根据权利要求1所述的一种微米尺度材料内耗与模量测量装置，其特征在于：所述的控制运算系统是一套专用软硬件系统，管理整个微米尺度材料内耗装。