[发明专利]可容纳多个水热釜的水热法晶体生长炉无效
申请号: | 201210032466.0 | 申请日: | 2012-02-13 |
公开(公告)号: | CN102534747A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 黄丰;林文文;陈达贵;黄顺乐;黄嘉魁;林钟潮 | 申请(专利权)人: | 中国科学院福建物质结构研究所 |
主分类号: | C30B7/10 | 分类号: | C30B7/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350002 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 容纳 多个水热釜 水热法 晶体生长 | ||
1.一种可容纳多个水热釜的新型水热法晶体生长炉,包括:石墨炉膛,隔温板,加热电炉丝,测温控温装置,顶部保温盖,保温填料和壳体。
2.如权利1所述的晶体生长炉,其特征在于:炉膛管采用高热导系数的石墨材料。
3.如权利1所述的水热法晶体生长炉,其特征在于:炉膛管中可以放置多个水热釜。
4.如权利1所述的水热法晶体生长炉,其特征在于:上加热炉丝和下加热炉丝之间增设了隔温板以减少上控温区和下控温之间的热量传导。
5.如权利1所述的水热法晶体生长炉,其特征在于:隔温板的材料为硅酸铝,硅酸钙,氧化镁,氧化铍,氧化锆,碳化硅中的一种或者任意几种。
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