[发明专利]一种用于测定玻璃基板表面洁净度的方法和设备

权利要求书

1.一种用于测定玻璃基板表面洁净度的方法，所述方法包括测定所述玻璃基板上液滴的直径。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法包括：

将所述玻璃基板置于保持水平的载物台上，将已知体积的液体滴于所述玻璃基板上，然后测定所述液体形成的液滴的直径。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括根据所述液体的体积和所述液滴的直径计算玻璃基板的接触角。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述液体为在玻璃表面形成小于90°接触角的液体；

优选地，所述液体为水、乙醇、丙醇、丙酮、乙酸乙酯中的任一种或其组合；优选地，所述液体为水；

优选地，所述液体的体积为0.2-1.0μL，优选小于5μL。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，在空气洁净度不低于GB 50073-2001《中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范》中4级的条件下测定所述液滴的直径。

6.一种用于测定玻璃基板表面洁净度的设备，所述设备包括：

载物台(101)；

与所述载物台(101)相连的悬臂(102)；

与所述悬臂(102)相连的支架(104)；和

安装于所述支架(104)上的进样器(106)。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述进样器(106)连接漏斗(105)，所述漏斗(105)含有液体并将液体以体积定量的方式输送给所述进样器(106)。

8.根据权利要求6或7所述的设备，其特征在于，所述悬臂(102)通过轴(103)固定于所述载物台(101)上。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述悬臂(102)为可伸缩悬臂，并且可沿轴(103)转动。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的设备，其特征在于，所述设备还包括带量尺的光学显微镜。