[发明专利]硅片切割方法及切割废料回收方法

权利要求书

1.硅片切割方法，利用线切割设备，采用线切割技术对硅锭进行切割，切割成硅片，其特征在于，所述线切割设备包括钢丝，所述钢丝在对硅锭进行切割之前，在所述钢丝上均匀涂覆一层浆磨料；

所述线切割设备和硅锭放置在惰性气体环境中，所述钢丝在惰性气体环境下对硅锭进行切割。

2.根据权利要求1所述的硅片切割方法，其特征在于，所述浆磨料包括碳化硅和切割油料的混合料；所述切割油料包括聚乙二醇。

3.根据权利要求1或2所述的硅片切割方法，其特征在于，在浆磨料对钢丝进行涂覆之前，先将浆磨料采用冷却系统进行冷却，冷却后的浆磨料在钢丝表面均匀涂覆，在钢丝对硅锭进行切割过程中，冷却后的浆磨料带走切割产生的热量。

4.根据权利要求1或2所述的硅片切割方法，其特征在于，所述惰性气体环境采用氮气环境，所述线切割设备和硅锭放置在充有氮气的工作舱中，所述钢丝在氮气环境下对硅锭进行切割。

5.根据权利要求4所述的硅片切割方法，其特征在于，所述钢丝在氮气环境下对硅锭进行切割时，往工作舱中循环充入液态氮，液态氮的温度不高于20度，通过液态氮冷却钢丝切割硅锭时产生的热量。

6.硅片切割废料回收方法，采用权利要求1所述的硅片切割方法，切割硅锭后，产生废料，其特征在于，所述废料的回收包括如下步骤：

1)将硅片切割产生的废料采用固液分离的方式从废料中分离出聚乙二醇和固体混合物；

2)采用溶剂对固体混合物进行清洗；

3)采用萃取分离的方式将固体混合物进行初步的分离，分离出硅和碳化硅；

4)将分离出的硅加入密度在硅和碳化硅之间的液体中进行浮选，浮选出硅和碳化硅；

将萃取分离出的碳化硅和浮选出的碳化硅混合。

7.根据权利要求6所述的硅片切割废料回收方法，其特征在于，步骤1)中，采用真空离心机或真空过滤机，在真空离心机或真空过滤机中充入惰性气体，在惰性气体环境下实现固液分离。

8.根据权利要求6所述的硅片切割废料回收方法，其特征在于，步骤2)中，在对固体混合物进行清洗时，采用超声波清洗的方式清洗固体混合物。

9.根据权利要求6所述的硅片切割废料回收方法，其特征在于，步骤4)之后，浮选出的硅还进行磁选，并进行酸洗、干燥，得到硅粉。

10.根据权利要求6所述的硅片切割废料回收方法，其特征在于，步骤4)之后，混合后的碳化硅还进行磁选，并进行碱洗、酸洗、清水冲洗、烘干，得到碳化硅颗粒。