[发明专利]半导体器件、用于制造半导体器件的方法以及电源装置有效

专利信息
申请号: 201210031949.9 申请日: 2012-02-13
公开(公告)号: CN102646610A 公开(公告)日: 2012-08-22
发明(设计)人: 今泉延弘;冈本圭史郎;渡部庆二 申请(专利权)人: 富士通株式会社
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L23/495;H01L23/29;H01L21/56
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 蔡胜有;吴鹏章
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 半导体器件 用于 制造 方法 以及 电源 装置
【权利要求书】:

1.一种用于制造半导体器件的方法,包括:

将包含具有至少一个具有金属的外表面的纤维状材料的片置于基板的半导体芯片安装区域上;

在所述半导体芯片安装区域上形成包含易熔金属的接合层;

将半导体芯片置于所述半导体芯片安装区域上;以及

通过加热利用所述包含易熔金属的接合层将所述半导体芯片接合到所述半导体芯片安装区域。

2.根据权利要求1所述的方法,其中所述片具有与所述半导体芯片的面积基本相等的面积。

3.根据权利要求1所述的方法,其中所述片包含具有至少一个具有能够与所述易熔金属形成合金的金属的外表面的纤维状材料。

4.根据权利要求1所述的方法,其中所述片由纤维状金属材料制成。

5.根据权利要求1所述的方法,其中所述片由能够与所述易熔金属形成合金的纤维状金属材料制成。

6.根据权利要求1所述的方法,其中所述片由纤维状金属材料制成,所述纤维状金属材料具有覆盖有能够与所述易熔金属形成合金的金属的外表面并且不与所述易熔金属反应。

7.根据权利要求1所述的方法,其中所述片由具有覆盖有金属的外表面的纤维状树脂材料制成。

8.根据权利要求1所述的方法,其中所述片由具有覆盖有金属的外表面的纤维状玻璃材料制成。

9.根据权利要求1所述的方法,其中所述包含易熔金属的接合层是包含片状易熔金属的层。

10.根据权利要求1所述的方法,其中所述包含易熔金属的接合层是包含膏状易熔金属的层。

11.根据权利要求1所述的方法,其中所述包含易熔金属的接合层是包含导热粘合剂的层,所述导热粘合剂包含易熔金属和树脂。

12.根据权利要求1所述的方法,还包括用超声波将所述片暂时接合到所述半导体芯片安装区域。

13.根据权利要求9所述的方法,还包括:

在所述片上方形成所述包含片状易熔金属的层;以及

用超声波将所述片和所述包含片状易熔金属的层暂时接合到所述半导体芯片安装区域。

14.根据权利要求1所述的方法,还包括在所述包含易熔金属的接合层是包含片状易熔金属的层时用熔剂浸渍所述片。

15.一种半导体器件,包括:

基板;

置于所述基板上的半导体芯片;和

接合层,所述接合层包含易熔金属和纤维状材料并且将所述基板和所述半导体芯片接合在一起。

16.根据权利要求15所述的半导体器件,其中所述接合层包含所述易熔金属与金属的合金以及纤维状材料。

17.根据权利要求15所述的半导体器件,其中所述接合层包含所述易熔金属与金属的合金以及纤维状金属材料。

18.根据权利要求15所述的半导体器件,其中所述接合层包含所述易熔金属与金属的合金以及纤维状树脂材料。

19.根据权利要求15所述的半导体器件,其中所述接合层包含所述易熔金属与金属的合金以及纤维状玻璃材料。

20.一种电源装置,包括:

基板;

置于所述基板上的半导体芯片;和

半导体装置,所述半导体器件包括接合层,所述接合层包含易熔金属和纤维状材料并且将所述基板和所述半导体芯片接合在一起。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士通株式会社,未经富士通株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210031949.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top