[发明专利]金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器

权利要求书

1. 金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器，包括体声波谐振器与敏感膜层，其特征在于，传感器从下至上包括基底、设置在基底上的声反射层、下电极层、压电薄膜层、上电极层和暴露在环境中吸附待测物的金纳米多孔敏感膜层，敏感膜层与上电极层的面积与形状相同。

2.根据权利要求1所述的金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器，其特征在于所述的声反射层，为Mo-SiO₂、Mo-W或Mo-Ti交替生长的复合薄膜，其生长对数为3对至5对。

3.根据权利要求1所述的金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器，其特征在于所述的下电极层，为金属铂或钼，其优选厚度为100纳米至400纳米。

4.根据权利要求1所述的金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器，其特征在于所述的上电极层，为金属铂或金，其优选厚度为100纳米至400纳米。

5.根据权利要求1所述的金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器，其特征在于所述的压电薄膜层，为氧化锌、氮化铝或锆钛酸铅薄膜，薄膜是沿c轴择优取向或c轴倾斜取向的压电薄膜，其优选厚度为1微米至3微米。

6.根据权利要求1所述的金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器，其特征在于所述的金纳米多孔敏感膜层，优选厚度为50纳米至200纳米。

7.根据权利要1或6所述的金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器，其特征在于所述的金纳米多孔敏感膜层由含金的合金制得，该合金为可与贵金属Au形成固溶体的Au-Ag、Au-Ni、Au-Cu等合金。