[发明专利]一种测试用集成电路在审
| 申请号： | 201210030447.4 | 申请日： | 2012-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN102543960A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 何军 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测试 集成电路 | ||
【权利要求书】：
1.一种测试用集成电路，位于晶片的切割道区，其特征在于：该测试用集成电路包括多组测试焊垫，其中，不同组测试焊垫交错放置，每个测试焊垫组的测试焊垫的间距至少为探针的最小间距。
2.如权利要求1所述的测试用集成电路，其特征在于：不同组测试焊垫的测试焊垫之间为等间距。
3.如权利要求1所述的测试用集成电路，其特征在于：不同组测试焊垫的测试焊垫之间的间距至少为集成电路的最小安全距离。
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