[发明专利]多焦点光束产生装置及多焦点共焦扫描显微镜

权利要求书

1.一种多焦点光束产生装置，包括光源、偏振器和偏振滤波光路；其特征在于：

所述偏振滤波光路在光源出射光束经过偏振器后的光路上设置有第一偏振分光镜，光束经过第一偏振分光镜后一部分发生反射，一部分发生透射；

在反射光路上依次设置有第一反射镜、第一滤波片和第二偏振分光镜；

在透射光路上依次设置有第二滤波片、第二反射镜和第二偏振分光镜，

反射光束和透射光束在第二偏振分光镜处汇合成一束光束。

2.根据权利要求1所述的多焦点光束产生装置，其特征在于：

所述偏振器和第一偏振分光镜之间设置有环形光束产生装置，沿光路轴对称的设置有第一外反射式圆锥面反射镜、第一内反射式圆锥面反射镜、第二内反射式圆锥面反射镜和第二外反射式圆锥面反射镜。

3.根据权利要求1或2所述的多焦点光束产生装置，其特征在于：

所述第一滤波片的振幅滤波函数为所述第二滤波片的振幅滤波函数为其中，为光束横截面上的方位角，n为正整数，m为大于0的整数。

4.根据权利要求3所述的多焦点光束产生装置，其特征在于：

其中，n为正奇数。

5.根据权利要求3所述的多焦点光束产生装置，其特征在于：

其中，n为正奇数，m为大于1的整数。

6.根据权利要求3所述的多焦点光束产生装置，其特征在于：

其中，n为正偶数，m＝1。

7.一种多焦点共焦扫描显微镜，其特征在于，所述显微镜包括：

如权利要求1至6之一所述的多焦点光束产生装置；

焦点调控组件，被配置成调控多焦点的空间位置；

样品组件，用于保持经多焦点光束产生装置产生的光束扫描的样品；

光电探测器件，被配置成探测由所述样品反射的光；

控制组件，用于控制上述各组件。