[发明专利]线锯系统用的导向辊

说明书

技术领域

本发明涉及一种线锯系统用的导向辊，更为详细地涉及一种在导向辊的侧面滑动固定有平衡部件，随着导向辊的旋转，便于以旋转轴为中心使重量平衡，且保持导向辊同心度的线锯系统用的导向辊。

背景技术

一般来说，在锭块的成长(growth)工序结束之后，为了将锭块制成晶片，进行按单片单位切割锭块的切片工序。

这种切片工序有多种形式，其中典型的是线锯(Wire Saw)方式，即为在腔室内使钢琴线或高张力线高速往返移动，并在其上喷洒淤浆(slurry)溶液，通过沾在线上的淤浆和单晶锭块之间的摩擦而进行切割的方式。

线锯方式可将锭块同时切割为多个晶片，从而能够提高单位时间的生产收率，因此目前被广泛地应用。

韩国专利第887494号公开一种用于切割锭块的线锯系统。韩国专利第887494号所公开的线锯系统在主辊上缠绕有300～400圈的线，由于主辊的旋转，线作高速运行。而且用于固定锭块的固定单元下降，由高速运行的线切割锭块。此时，限定了固定单元的结构。

为了保持这种主辊的稳定的旋转，随着主辊的旋转，需要以旋转轴为中心使主辊的重量平衡。

然而，现有技术根据在主辊的旋转时所测定的偏差值，用钻头等切削主辊，因此每当产生偏差值时均需要进行切削作业，有所繁杂。

此外，还具有由于反复的切削作业，降低主辊的强度，损坏主辊外观的问题。

发明内容

本发明的目的是解决上述以往的问题，提供一种线锯系统用的导向辊，防止根据在主辊的旋转时所测定的偏差值进行切削作业的麻烦，随着主辊的旋转便于以旋转轴为中心使重量平衡，保持主辊的同心度。

此外，本发明的另一目的是提供一种线锯系统用的导向辊，防止反复的切削作业，并防止主辊强度的下降，能够使主辊的外观优美。

上述目的通过本发明的以下技术方案来实现：一种线锯系统用的导向辊，为了切割锭块而在外周面上缠绕有线，并以旋转轴为中心进行旋转，所述线锯系统用的导向辊包括：导槽，在所述导向辊的两个侧面中的至少一个侧面上凹陷而形成；至少一个平衡部件，嵌设于所述导槽，沿所述导槽滑动；以及固定件，在所述导槽中固定所述平衡部件。

其中，所述导槽的侧面优选构成导向斜面，使得所述导槽的深度越深，所述导槽的宽度越宽。

其中，所述平衡部件的侧面优选对应于所述导槽的侧面而形成有支承斜面。

其中，所述导槽优选沿着入口侧边缘形成有止挡部。

上述目的通过本发明的以下技术方案来实现：一种线锯系统用的导向辊，为了切割锭块而在外周面上缠绕有线，并以旋转轴为中心进行旋转，所述线锯系统用的导向辊包括：导轨，在所述导向辊的两个侧面中的至少一个侧面上突出而形成；至少一个平衡部件，形成有供所述导轨嵌入的插槽，且沿所述导轨而滑动；以及固定件，在所述导轨上固定所述平衡部件。

其中，所述固定件优选由贯穿所述平衡部件而与所述平衡部件螺栓结合的固定螺栓构成。

其中，所述平衡部件优选凹陷形成有间隔槽，以形成相互隔开的支承部，所述固定件由通过所述间隔槽且贯穿所述支承部而与所述平衡部件螺栓结合的固定螺栓构成。

其中，所述固定件优选包括：支承突部，突出设置在所述平衡部件的至少一侧；以及弹性件，设置在所述平衡部件和所述支承突部之间，用于弹性支承所述支承突部。

其中，所述导槽优选进一步在侧面形成有供所述支承突部嵌入的支承槽。

其中，所述固定件优选包括：支承突部，从所述平衡部件的插孔突出而设置；以及弹性件，设置在所述平衡部件和所述支承突部之间，用于弹性支承所述支承突部。

其中，所述导轨优选进一步在侧面形成有供所述支承突部嵌入的支承槽。

根据本发明，提供一种能够防止根据在主辊的旋转时所测定的偏差值进行切削作业的麻烦，随着主辊的旋转便于以旋转轴为中心使重量平衡，保持主辊同心度的线锯系统用的导向辊。

此外，提供一种无需进行反复的切削作业，能够节省反复的切屑作用所需的维修费用的线锯系统用的导向辊。

此外，提供一种操作简便，能够防止导向辊的强度下降，且能够使导向辊的外观优美的线锯系统用的导向辊。

附图说明

图1是表示本发明第一实施例的线锯系统的图。

图2是表示本发明第一实施例的导向辊的立体图。

图3是表示根据本发明的第一实施例，在图2的“A”部分中平衡部件被结合的状态的剖视图。