[发明专利]在包括对比度增强元件的TEM中使光学元件居中的方法

权利要求书

1. 用于在透射电子显微镜（TEM）中调整或对准一个或多个光学元件的方法，该TEM（500）配备了用于引导电子射束到样本（508）的物镜（512），并且该TEM示出了衍射平面（514），在该衍射平面中至少聚焦了非散射的电子射束，该TEM配备了用于增强对比度传递函数（CTF）的结构（518），所述结构位于衍射平面中或衍射平面的图像中，该方法包括调整或对准光学元件，其特征在于，通过使非散射电子射束偏转得远离所述结构来防止在所述调整或对准期间用非散射电子对所述结构的照射。

2. 权利要求1的方法，其中所述结构（518）为相位板（1,2）或单边带成像设备（400）。

3. 权利要求1或2的方法，其中所述结构位于光轴（11）周围，射束被弯曲得远离光轴（11）以防止对所述结构的照射，并且使用一个或多个偏转器（528-6,528-7）和/或透镜使射束弯曲回所述轴（11）之上并且对准到所述轴。

4. 前述任意权利要求的方法，其中所述结构（518）为夹持器的一部分或安装在夹持器上，所述结构相对于夹持器的位置是已知的，并且通过放置夹持器的一个或多个特征来使所述结构居中。

5. 权利要求4的方法，其中夹持器示出了圆孔，圆孔的中心与所述结构（518,410）重合，并且所述特征为圆孔的边缘（404）。

6. 权利要求4或5的方法，其中该方法进一步包括确定所述结构（518,410）相对于一个或多个特征（404）的位置。

7. 前述任意权利要求的方法，其中衍射平面与物镜的后焦平面（514）重合。