[发明专利]一种反射型投影光学系统无效
| 申请号： | 201210025962.3 | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN102540435A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 杨雄;邢廷文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 顾炜;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 反射 投影 光学系统 | ||
1.一种反射型投影光学系统，其包含6片反射镜，按照光束入射顺序依次为M1反射镜、M2反射镜、M3反射镜、M4反射镜、M5反射镜、M6反射镜；其特征在于，由M1反射镜、M2反射镜、M3反射镜、M4反射镜组成第一光学子系统，可以形成第0面的中间像。由M5反射镜、M6反射镜组成第二光学子系统，可以将中间像成像于第7面；光阑设置在M2反射镜上，M2、M5反射镜是凸面反射镜，M1、M3、M4、M6都是凹面反射镜；从M3反射镜出射的光束，其下边缘光线与光轴接近平行。
2.根据权利要求1所述的反射型投影光学系统，其特征在于，第0面与第一反射镜M1的距离d1跟物面最大物高H0的比值d1/H0满足以下条件：5＜d1/H0＜9。
3.根据权利要求2所述的反射型投影光学系统，其特征在于，自上述第1反射镜M1至上述第2反射镜M2的距离为d2满足以下条件：200mm＞d2＞100mm。
4.根据权利要求3所述的反射型投影光学系统，其特征在于，第3反射镜M3的曲率半径r3满足以下条件：1500mm＞r3＞700mm。
5.根据权利要求4所述的反射型投影光学系统，其特征在于，第2反射镜M2至第3反射镜M3的距离为d3跟第M3的曲率半径r3之比d3/r3满足以下条件：0.6＞d3/r3＞0.4。
6.根据权利要求5所述的反射型投影光学系统，其特征在于，第3反射镜的曲率半径r3跟第4反射镜的曲率半径r4的比值r3/r4满足以下条件：0.7＞r3/r4＞1.5。
7.根据权利要求6所述的反射型投影光学系统，其特征在于，上述第0面至第7面的轴上间隔TT跟物面最大高度H0的比值TT/H0满足以下条件：15＞TT/H0＞8。
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