[发明专利]顺磁气体传感器设备和调节法

权利要求书

1.一种顺磁气体传感器设备，所述顺磁气体传感器设备包括：

主体，所述主体限定腔室，所述腔室具有至少一个气体入口和至少一个气体出口，所述至少一个气体入口和至少一个气体出口限定至少一个气体流动通道，用于允许气体流动通过所述腔室；

一组磁体，所述一组磁体用于在所述腔室内沿第一方向产生磁场；

试验主体；和

用于在所述腔室中安装所述试验主体的扭矩平衡装置，所述扭矩平衡装置用于响应施加到所述试验主体的扭矩围绕平行于所述磁场的方向的轴线旋转，其中基于被测气体的磁化率产生所述扭矩；

其中，所述至少一个气体入口被设置以将气体从所述腔室的相对侧的位置沿相反方向供应到所述腔室，和至少一个流平衡元件，所述至少一个流平衡元件提供气体流动通道中的流限制不对称性。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述气体入口被设置以将气体沿平行于所述磁场的方向的方向供应至所述腔室。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述扭矩平衡装置能够被操作以将所述试验主体保持在零位置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的设备，还包括信号发生器，所述信号发生器用于产生气体的顺磁磁化率的指示。

5.根据权利要求1-4任一项所述的设备，其中所述流平衡元件能够被调节。

6.根据权利要求1-4任一项所述的设备，其中所述流平衡元件处于固定的位置并具有固定的形式。

7.根据权利要求5所述的设备，其中所述流平衡元件处于固定的位置并具有能够调节的形式。

8.根据权利要求5所述的设备，其中所述流平衡元件处于能够调节的位置并具有固定的形式。

9.根据权利要求5所述的设备，其中所述流平衡元件处于能够调节的位置并具有能够调节的形式。

10.根据权利要求5所述的设备，其中所述流平衡元件在尺寸上能够被调节。

11.根据权利要求5所述的设备，还包括：用于确定气体流动通道中的第一不对称性的存在的装置，和用于调节所述至少一个流平衡元件的装置。

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述第一不对称性的存在通过所述顺磁气体传感器检测在具有气体流动的情况下所述试验主体上的测量扭矩和在不具有气体流动的情况下所述试验主体上的测量扭矩之间的差来确定，并且其中用于调节的装置包括控制机构，所述控制机构响应于检测的差来调节所述至少一个流平衡元件，从而减少所述差。

13.根据权利要求1-12任一项所述的设备，其中所述流平衡元件是突起。

14.根据权利要求1-12任一项所述的设备，其中所述流平衡元件是凹陷部。

15.根据权利要求1-12任一项所述的设备，其中所述流平衡元件是突起和凹陷部的组合。

16.根据权利要求1-15任一项所述的设备，其中所述流平衡元件位于所述试验主体的上游。

17.根据权利要求1-15任一项所述的设备，其中所述流平衡元件位于所述试验主体的下游。

18.根据权利要求1-17任一项所述的设备，还包括多个流平衡元件，其中使用上游和/或下游的流平衡元件的组合。

19.根据权利要求1-18任一项所述的设备，还包括多个气体入口，所述多个气体入口中的每个都具有用于接收被测气体供应的外部连接点，使得被测气体供应可以在所述设备的上游被分开，并在所述腔室的相对侧被供应到多个气体入口。

20.根据权利要求1-18任一项所述的设备，还包括分流器，所述分流器在所述设备内用于分开进入的气体流并将被测气体供应到所述腔室相对侧的所述位置处。

21.根据权利要求20所述的设备，其中所述分流器包括一体的歧管部分。