[发明专利]一种光刻机硅片台的主动驱动线缆台

权利要求书

1.一种光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，包括Y向滑台、Y向导轨和交叉伸缩连杆机构，所述Y向滑台通过气浮轴承设置在所述Y向导轨上，所述Y向滑台由滑台电机驱动在Y向与硅片台保持同步运动，所述线缆设施经由所述Y向滑台沿所述交叉伸缩连杆机构输送到所述硅片台上，交叉伸缩连杆机构包括交叉伸缩连杆和驱动器，所述交叉伸缩连杆一端连接所述Y向滑台，另一端通过线缆设施连接于硅片台，所述驱动器用于驱动所述交叉伸缩连杆沿X向运动，从而带动所述线缆设施沿X向运动。

2.根据权利要求1所述的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，所述交叉伸缩连杆包括八根杆件，所述八根杆件两两交叉形成四个交点与三个平行四边形，靠近所述Y向滑台的两个交点分别固定于Y向滑台的两点，靠近所述硅片台的交点悬空，且通过线缆设施连接所述硅片台。

3.根据权利要求2所述的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，Y向滑台上设置有第一支承座和第二支承座，第一支承座和第二支承座之间设置有丝杠，丝杠螺母通过丝杠螺母副安装在丝杠上，四个交点中靠近所述Y向滑台的两个交点分别固定于Y向滑台的上述第一支承座和上述第二支承座，所述驱动器为旋转电机，旋转电机的电机轴通过联轴器与丝杠的一端相固联。

4.根据权利要求3所述的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，所述旋转电机的电机轴上设置有旋转编码器或者圆光栅，用来测量和控制电机转角。

5.根据权利要求2所述的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，所述交叉伸缩连杆的八根杆件之间均通过转动副相连接。

6.根据权利要求2所述的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，所述交叉伸缩连杆各杆件的侧面设置有用于线缆设施走线的线缆卡扣。

7.根据权利要求2所述的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，所述四个交点中靠近硅片台的交点连接传感器支架，传感器支架上设置有两个位移传感器，用来测量交叉伸缩连杆机构相对于硅片台X向位移以及硅片台Rz轴向的角位移。

8.根据权利要求2所述的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，所述交叉伸缩连杆为悬臂结构，每根杆件选用铝合金、镁合金、钛合金、碳纤维、陶瓷或者其他无磁性材料来加工制造。

9.根据权利要求1所述的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，所述交叉伸缩连杆和硅片台之间通过所述线缆设施的线缆柔性连接。

10.根据权利要求1所述的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，所述硅片台为平面气浮单硅片台、平面气浮多硅片台、平面磁浮单硅片台或者平面磁浮多硅片台。

11.根据权利要求1所述的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，所述线缆设施包括通信线缆、功率线缆、气管、水管。