[发明专利]CIS器件电气故障分析测试方法及测试系统有效
| 申请号： | 201210024592.1 | 申请日： | 2012-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN103245844A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 潘建峰;徐明洁;张晓东;潘国华 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01J1/10 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | cis 器件 电气 故障 分析 测试 方法 系统 | ||
1.一种CIS器件电气故障分析测试方法，其特征在于，包括：
将CIS器件置于测试机台，此时，测试机台向CIS器件提供光照；
获取CIS器件中每个像素的亮度；
根据CIS器件中每个像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素；
输出CIS器件中不合格像素的信息。
2.如权利要求1所述的CIS器件电气故障分析测试方法，其特征在于，所述不合格像素包括：亮度大于第一标准量或者亮度小于第二标准量的像素，其中，第一标准量大于第二标准量。
3.如权利要求2所述的CIS器件电气故障分析测试方法，其特征在于，输出CIS器件中不合格像素的信息包括：
输出CIS器件中不合格像素的数量。
4.如权利要求2所述的CIS器件电气故障分析测试方法，其特征在于，输出CIS器件中不合格像素的信息包括：
输出CIS器件中不合格像素的亮度。
5.如权利要求2所述的CIS器件电气故障分析测试方法，其特征在于，输出CIS器件中不合格像素的信息包括：
输出CIS器件中不合格像素的不合格类别。
6.如权利要求5所述的CIS器件电器故障分析测试方法，其特征在于，所述不合格类别包括：不合格类别“1”及不合格类别“0”，其中，
不合格类别“1”为像素的亮度大于第一标准量；
不合格类别“0”为像素的亮度小于第二标准量。
7.如权利要求1至6中的任一项所述的CIS器件电气故障分析测试方法，其特征在于，输出CIS器件中不合格像素的信息还包括：
输出CIS器件中不合格像素所在的坐标位置。
8.如权利要求7所述的CIS器件电气故障分析测试方法，其特征在于，在CIS器件中，以最左端最下方的像素所在的位置作为坐标原点。
9.一种CIS器件电气故障分析测试系统，其特征在于，包括：
测试机台，用以向CIS器件提供光照；
获取装置，用以获取CIS器件中每个像素的亮度；
判断装置，用以根据CIS器件中每个像素的亮度信息，得到CIS器件中的不合格像素；
输出装置，用以输出CIS器件中不合格像素的信息。
10.如权利要求9所述的CIS器件电气故障分析测试系统，其特征在于，还包括：
坐标获取装置，用以获取CIS器件中像素所在的坐标位置。
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