[发明专利]一种光微加工方法无效
| 申请号： | 201210023662.1 | 申请日： | 2012-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN103246167A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 汤浩泉 | 申请（专利权）人： | 汤浩泉 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B6/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 435300 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种自聚焦透镜，其特征在于：由光纤预制棒拉制而成，芯部中心折射率低于芯部边缘折射率，从芯部中心到芯部边缘折射率曲线变化如附图2。
2.一种自聚焦光纤，其特征在于：光纤芯部中心折射率低于芯部边缘折射率，从芯部中心到芯部边缘折射率曲线变化如附图2。
3.一种微小光斑的制作方法，其特征在于：将入射光经自聚焦透镜汇入自聚焦光纤，将自聚焦光纤局部地方沿不同方向多作转弯以压缩光束以致在自聚焦光纤出射端得到微小光斑。
4.一种光刻方法，其特征在于：将多根自聚焦光纤出射端裸纤整齐排列，将各根光纤的入射端由单独的计算机程序控制的电光开关控制入射光的进入以使各根光纤进行各自的光刻，整组光纤进行整个电路芯片进行光刻。
5.一种光刻方法，其特征在于：将多根自聚焦光纤光纤尾部裸纤出射端整齐错位排列如附图9，由附图9所示直线平移进行光刻。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于汤浩泉，未经汤浩泉许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210023662.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：除湿装置
- 下一篇：一种含有RPMC的增强型Flash芯片及其封装方法
