[发明专利]大幅面介质阻挡放电等离子体表面处理系统

权利要求书

1.一种大幅面介质阻挡放电等离子体表面处理系统，包括等离子体处理组件，其特征在于，所述的等离子体处理组件为介质阻挡放电等离子体处理组件。

2.根据权利要求1所述的大幅面介质阻挡放电等离子体表面处理系统，其特征在于，在所述的介质阻挡放电等离子体处理组件的上方设有臭氧吸收装置。

3.根据权利要求1所述的大幅面介质阻挡放电等离子体表面处理系统，其特征在于，所述的介质阻挡放电等离子体处理组件包括接地辊筒、电极板和输气装置，接地辊筒的主轴两端转动支撑在机架上，在接地辊筒的上面装有一对弧面与接地辊筒同轴心的并与该接地辊筒外周面留有相等放电间距的电极板；在两个电极板之间装有输气装置。

4.根据权利要求3所述的大幅面介质阻挡放电等离子体表面处理系统，其特征在于，所述的输气装置由气刀和导流槽组成，在气刀的出气缝隙与接地辊筒的顶端之间设有导流槽，一对所述的电极板分别连接在该导流槽的两侧；该电极板、气刀和导流槽的长度均与接地辊筒的长度相对应。

5.根据权利要求3所述的大幅面介质阻挡放电等离子体表面处理系统，其特征在于，在所述的电极板内设有水冷通道，该水冷通道两端连接有穿出电极板两端的循环水接口；所述的电极板的两端分别安装在一个弧形绝缘的电极支架一侧的安装台阶上，所述的循环水接口穿出电极支架外，电极支架的弧形与所述的接地辊筒同轴心；电极板面积可增大或缩小，接高压电源，电源电压10-30KV，频率为10-30KHz。

6.根据权利要求3所述的大幅面介质阻挡放电等离子体表面处理系统，其特征在于，在所述的接地辊筒内设有冷却通道，该冷却通道的两端与循环水回路连接；所述的电极板不冷却。

7.根据权利要求5所述的大幅面介质阻挡放电等离子体表面处理系统，其特征在于，所述的电极板与接地辊筒之间的放电间距为0.5-5mm，在该放电间距内产生等离子体；所述的电极支架两端将接地辊筒的两端的外沿拐角包围，在保证接地辊筒自由转动的前提下，尽量减少气流从端面漏出。

8.根据权利要求2所述的大幅面介质的阻挡放电等离子体表面处理系统，其特征在于，所述的臭氧吸收装置由抽风罩和臭氧消除器组成，抽风罩设在所述的等离子体处理组件的上部周围，其作用是防止臭氧扩散到操作环境中；在该抽风罩的顶端设有臭氧消除器，将臭氧吸收或催化分解。

9.根据权利要求3所述的大幅面介质的阻挡放电等离子体表面处理系统，其特征在于，所述的电极板由并列的多个电极棒组成，相邻的电极棒之间用粘接剂相互密封连接形成弧面，导流槽与电极板之间的空隙也用粘结剂填充。

10.根据权利要求3所述的大幅面介质阻挡放电等离子体表面处理系统，其特征在于，所述的电极棒为水冷电极棒，包括介质管、金属管、绝缘管、端盖、有机胶、无机胶和金属粉，在介质管的两端从内之外依次设有端盖、有机胶和无机胶；金属管的长度小于介质管长度，两端口位于无机胶的中间位置，金属管与金属材质的端盖连接；在该金属管的两端各对接一绝缘管，两根绝缘管的外端穿出无机胶，该绝缘管的粗细和壁厚与所述的金属管一致；一个所述的端盖焊有高压导线，该高压导线延伸至电极棒外；在两个端盖之间填充金属粉；所述的金属管和绝缘管作为水冷通道，绝缘管的外端与循环水接口连接。

11.根据权利要求1所述的大幅面介质的阻挡放电等离子体表面处理系统，其特征在于，所述的电极棒为无水冷电极棒，包括介质管、端盖、有机胶、无机胶和金属粉，在介质管的两端从内之外依次设有端盖、有机胶和无机胶；两个端盖分别与一根金属导线的两端连接，其中一个端盖的焊有高压导线，该高压导线延伸至电极棒外；在两个端盖之间填充金属粉。