[发明专利]具有集成于芯片上的红外截止干涉滤光片与色彩滤光片的光传感器

说明书

技术领域

具有集成于芯片上的红外截止干涉滤光片与色彩滤光片的光传感器。 

背景技术

例如智能电话、平板计算机、数字媒体播放器等等电子装置越来越多地采用光传感器来控制由所述装置提供的多种功能的操纵。举例来说，光传感器可由电子装置用以检测周围照明条件以便控制所述装置的显示屏幕的亮度。典型的光传感器采用例如光电二极管、光电晶体管等光电检测器，其将所接收的光转换成电信号(例如，电流或电压)。然而，此些光电检测器的响应可受红外(IR)光(例如，可由光电检测器检测到的具有大于约700纳米(nm)的波长的电磁辐射)的存在的影响。举例来说，电子装置的光传感器可指示周围环境比其实际情况“更亮”，因为周围经照明环境含有比正常大的比例的红外光(例如，在通过人工照明供应周围经照明环境等等的情况下)。 

发明内容

描述一种光传感器，其包含集成于芯片上(例如，集成于所述光传感器的裸片上)的IR截止干涉滤光片及至少一个色通滤光片。在一个或一个以上实施方案中，所述光传感器包括包含衬底的半导体装置(例如，裸片)。在所述衬底中接近于所述衬底的表面形成光电检测器(例如，光电二极管、光电晶体管等)。在所述光电检测器上方安置IR截止干涉滤光片。所述IR截止干涉滤光片经配置以对来自由所述光传感器接收的光的红外光进行过滤以至少大致阻挡红外光到达所述光电检测器。将例如通常使红外光以及可见光的一频带通过的吸收滤光片的至少一个色通滤光片放置于所述IR截止干涉滤光片上面或下面。所述色通滤光片经配置以对由所述光传感器接收的可见光进行过滤以使有限波长光谱中的光(例如，具有介于第一波长与第二波长之间的波长的光)通过而到达所述光电检测器中的至少一者。所述光电检测器还可包括一个或一个以上透明光电 检测器，所述一个或一个以上透明光电检测器经配置以接收未由色通滤光片过滤的光，借此允许所述透明光电检测器检测周围光环境。在IR截止干涉滤光片或色通滤光片(例如，吸收滤光片)的表面上方形成缓冲层以分别促进形成所述色通滤光片或IR截止干涉滤光片。 

本文提供此发明摘要以按简化形式引入下文在具体实施方式中进一步描述的概念选择。此发明摘要并不打算识别所主张标的物的关键特征或重要特征，也不打算用于辅助确定所主张标的物的范围。 

附图说明

参考附图来描述具体实施方式。在描述及各图中的不同实例中使用相同参考编号可指示类似或等同物项。 

图1A是图解说明根据本发明的实例性实施方案的具有IR截止干涉滤光片、多个色通滤光片及缓冲层的光传感器的示意性部分横截面侧视图。 

图1B是图解说明根据本发明的实例性实施方案的具有IR截止干涉滤光片、多个色通滤光片及缓冲层的光传感器的示意性部分横截面侧视图，其中所述光传感器进一步包含围绕所述IR截止干涉滤光片及缓冲层的外围形成以阻挡红外及可见光进入的暗镜边缘。 

图2A是图解说明根据本发明的实例性实施方案的具有IR截止干涉滤光片、多个色通滤光片及缓冲层的光传感器的示意性部分横截面侧视图，其中所述缓冲层的一部分被移除且所述多个色通滤光片形成于其中移除了所述缓冲层的区域中。 

图2B是图解说明根据本发明的实例性实施方案的具有IR截止干涉滤光片、多个色通滤光片及缓冲层的光传感器的示意性部分横截面侧视图，其中所述缓冲层的一部分被移除且所述多个色通滤光片形成于其中移除了所述缓冲层的区域中，且其中所述光传感器进一步包含围绕所述IR截止干涉滤光片的外围形成以阻挡红外及可见光进入的暗镜边缘。 

图3A是图解说明图1A及2A的光传感器的示意性俯视平面图。 

图3B是图解说明图1B及2B的光传感器的示意性俯视平面图。 

图4是以实例性实施方案图解说明根据本发明的用于制作具有IR截止干涉滤光片、多个色通滤光片及缓冲层的光传感器的实例性工艺的流程图。 

图5是以实例性实施方案图解说明根据本发明的用于制作具有IR截止干涉滤光片、 多个色通滤光片及缓冲层的光传感器的另一实例性工艺的流程图。 

具体实施方式

概述