[发明专利]带有炉口温场维护机构的布里奇曼法单晶生长装置有效

专利信息
申请号: 201210022715.8 申请日: 2012-01-04
公开(公告)号: CN103194789A 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 李榕生;孔祖萍;陈杰;孙杰;谢文婷;周双双;刘燕 申请(专利权)人: 宁波大学
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 315211 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 带有 炉口温场 维护 机构 布里奇曼法单晶 生长 装置
【权利要求书】:

1.带有炉口温场维护机构的布里奇曼法单晶生长装置,该装置的结构包括一个布里奇曼法单晶生长炉,其特征是,在所述布里奇曼法单晶生长炉的周边环绕装设有挡风屏,该挡风屏用于稳定所述布里奇曼法单晶生长炉炉口周边的空气温场,该挡风屏由一些屏状物组合而成,该屏状物的底边装设有一些滑轮,该屏状物的底边经由滑轮与装设在地面的圆弧状轨道滑移邻接,该屏状物的横断面轮廓呈弧线状,装设在地面的圆弧状轨道沿地面环绕在布里奇曼法单晶生长炉周边,该圆弧状轨道的数量在一条以上,每一条圆弧状轨道至少承载一片所述屏状物。

2.根据权利要求1所述的带有炉口温场维护机构的布里奇曼法单晶生长装置,其特征是,在所述屏状物内侧及外侧邻近底边的位置均装设有裙状物,该裙状物由柔性材料构成,所述柔性材料是橡胶、无纺布或石棉布,该裙状物用于严密阻挡所述底边位置的缝隙漏风。

3.根据权利要求1所述的带有炉口温场维护机构的布里奇曼法单晶生长装置,其特征是,至少有一片的屏状物是带有透明观察窗的屏状物,该透明观察窗的形状是圆形、椭圆形、方形或矩形,该透明观察窗的材质是有机玻璃或无机玻璃。

4.根据权利要求1所述的带有炉口温场维护机构的布里奇曼法单晶生长装置,其特征是,所述圆弧状轨道是闭合的形成圆圈的圆弧状轨道。

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