[发明专利]有源元件有效
| 申请号： | 201210022681.2 | 申请日： | 2012-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102569415A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 邱皓麟;林其叡;曹书玮;林俊男;叶柏良;曾贤楷 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/10;H01L29/423 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 姜燕;邢雪红 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有源 元件 | ||
1.一种有源元件，包括：
一源极，包括多个彼此平行的第一条状电极以及一连接所述多个第一条状电极的第一连接电极；
一漏极，包括多个彼此平行的第二条状电极以及一连接所述多个第二条状电极的第二连接电极，其中所述多个第一条状电极与所述多个第二条状电极平行，并且交替排列于该第一连接电极与该第二连接电极之间，而该源极与该漏极电性绝缘，且该源极与该漏极之间存在一曲折沟槽；
一氧化物半导体层，与该源极以及该漏极接触，其中该氧化物半导体层与各该第一条状电极的接触面积等于各该第一条状电极的布局面积，且各该第二条状电极的接触面积等于各该第二条状电极的布局面积；
一栅极，沿着该曲折沟槽延伸；以及
一栅绝缘层，配置于该栅极与该氧化物半导体层之间。
2.如权利要求1所述的有源元件，其中该第一连接电极实质上平行于该第二连接电极。
3.如权利要求1所述的有源元件，其中该源极与该漏极电性绝缘。
4.如权利要求1所述的有源元件，其中该栅极的宽度大于该曲折沟槽的宽度。
5.如权利要求1所述的有源元件，其中该氧化物半导体层具有一矩形图案。
6.如权利要求1所述的有源元件，其中该栅极位于该源极、漏极下方。
7.如权利要求1所述的有源元件，其中该栅极位于该源极、漏极下方。
8.如权利要求1所述的有源元件，其中该氧化物半导体层的材质包括氧化铟镓锌、氧化锌氧化锡、氧化铟锌、氧化镓锌、氧化锌锡或氧化铟锡。
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