[发明专利]透射率测定装置和透射率测定方法有效
| 申请号： | 201210020423.0 | 申请日： | 2012-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN102628804A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 石川晋;园田恒彦;饭塚隆之;田中淳一;吉田光一郎 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透射率 测定 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种透射率测定装置，其特征在于，该透射率测定装置具有：
光源装置，其射出被检光；
第一光学系统，其会聚所述被检光并在测定对象上形成点；
第二光学系统，其对透射过所述测定对象的被检光进行会聚，形成所述点的共轭像；
光圈，其配置在所述共轭像的形成位置附近；以及
光检测单元，其对透射过所述光圈的被检光进行检测。
2.根据权利要求1所述的透射率测定装置，其特征在于，
所述光圈的开口直径大于等于所述共轭像的直径、并且小于所述被检光透射所述测定对象时产生的内部反射光在该光圈位置处的光束直径。
3.根据权利要求1所述的透射率测定装置，其特征在于，
所述光圈具有处于所述共轭像的直径的2～400倍的范围内的开口直径。
4.根据权利要求1所述的透射率测定装置，其特征在于，
所述光源装置射出特定波长的光。
5.一种光掩模的透射率测定方法，该光掩模在透明基板上至少具有对半透射膜进行构图而得到的半透射图案，其特征在于，
使用权利要求1～4中的任意一项所述的透射率测定装置，测定所述半透射图案的透射率。
6.根据权利要求5所述的光掩模的透射率测定方法，其特征在于，
所述光掩模通过在透明基板上具有对半透射膜进行构图而得到的半透射图案和对遮光膜进行构图而得到的遮光膜图案，成为具有透光部、遮光部和半透射部的多色调光掩模。
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