[发明专利]在盖中具有流体透过部的流体传感器以及作为中间产品的传感器探头

权利要求书

1.一种对流体传感器(1)进行批量生产的方法，所述流体传感器特别是热膜风速计，所述流体传感器的传感器探头(3)直通至外壳盖(5)上都由无机材料构成，所述传感器探头包括形成为薄膜电阻(30)的加热电阻、与所述加热电阻相连的自承电导体(42)以及自承电导体(42)固定其上的载体，其特征在于，将电缆(7)引入外壳(6)中，使自承电导体(42)引导穿过外壳盖(5)，在外壳(6)中使电缆(7)的导线(71)与自承电导体(42)相连接，而且此后，用外壳盖(5)封闭外壳(6)。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，使螺栓(73)以其前侧的插入斜面横向相对于导线地压入到在导线和横向钻孔之间的中间空间中。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，使所述外壳(6)与具有凸缘(50)的盖(5)固定在一起。

4.根据权利要求1至3的任意一项所述的方法，其特征在于，所述自承电导体(42)在外壳(6)之外与所述薄膜电阻(30)相连接，并且所述自承电导体在薄膜电阻(30)和盖(5)的透过部之间覆盖在基座(43)上。

5.一种由无机材料构成的传感器探头(3)，在所述传感器探头中加热电阻是薄膜电阻，所述薄膜电阻与自承电导体(42)相连接，所述自承电导体引导穿过外壳盖(5)，其特征在于，所述自承电导体(42)在与该自承电导体连接的薄膜电阻(30)和盖的透过部之间的区域覆盖在基座(43)上，所述自承电导体通过盖的透过部从外壳(6)中凸出。

6.一种对传感器探头(3)进行批量生产的方法，所述传感器探头的部分由无机材料构成，其中，作为加热电阻使用薄膜电阻，所述薄膜电阻与自承电导体(42)相连接，所述自承电导体引导穿过外壳盖(5)，其特征在于，所述自承电导体在与该自承电导体连接的薄膜电阻(30)和盖的透过部之间的区域覆盖在基座(43)上，所述自承电导体在引导穿过外壳盖(5)之后通过盖的透过部而凸出。

7.传感器探头(3)用于对流体传感器进行批量生产的用途，所述传感器探头为根据权利要求5所述的传感器探头或者为根据权利要求6所述的方法制造的传感器探头，在该用途中，在外壳(6)中将电缆(7)的导线(71)与自承电导体(42)相连接，所述电缆(7)由外壳(6)引出，而且所述自承电导体(42)引导穿过外壳的盖(5)，其特征在于，所述自承电导体(42)在外壳(6)之外与薄膜电阻(30)相连接，并且所述自承电导体在薄膜电阻(30)和盖(5)的透过部之间覆盖在基座(43)上。

8.用于废气回收的流体传感器(1)，在所述流体传感器中，加热电阻是薄膜电阻(30)，为了与所述薄膜电阻形成接触，在外壳(6)中将电缆(7)的导线与自承电导体(42)相连接，电缆(7)由外壳(6)引出，而且所述自承电导体(42)引导穿过外壳(6)的盖(5)，其特征在于，所述自承电导体(42)在与该自承电导体连接的薄膜电阻(30)和盖的透过部之间的区域覆盖在基座(43)上，所述自承电导体通过盖的透过部从外壳(6)中凸出。

9.根据权利要求8所述的流体传感器(1)，其特征在于，引导穿过盖的导体(42)与薄膜电阻(30)的插线(32)相连接。