[发明专利]具有折叠扭力弹簧的MEMS传感器

权利要求书

1.一种微机电系统MEMS传感器，包括：

基底；

可动部件，在所述基底的表面之上以间隔开的关系布置；

悬置锚，形成在所述基底的所述表面上；

第一折叠扭力弹簧，使得所述可动部件与所述悬置锚相互连接；以及

第二折叠扭力弹簧，使得所述可动部件与所述悬置锚相互连接，所述第一和第二折叠扭力弹簧具有基本相同的形状，并且所述第二折叠扭力弹簧基本上被取向为相对于所述第一折叠扭力弹簧绕所述悬置锚的质心旋转对称。

2.如权利要求1所述的MEMS传感器，其中所述第二折叠扭力弹簧位于相对于所述第一折叠扭力弹簧绕所述悬置锚的所述质心旋转大约180度的取向上。

3.如权利要求1所述的MEMS传感器，其中：

所述可动部件适于相对于位于所述可动部件的第一和第二端部之间的旋转轴运动；

所述悬置锚的质心位于所述旋转轴上；

所述第一折叠扭力弹簧具有耦合到所述悬置锚的第一端部；并且

所述第二折叠扭力弹簧具有耦合到所述悬置锚的第二端部，所述第一和第二端部中的每一个离开所述旋转轴并且位于所述旋转轴的相对侧上基本相同的距离。

4.如权利要求1所述的MEMS传感器，其中：

所述可动部件适于相对于位于所述可动部件的第一和第二端部之间的旋转轴运动；以及

所述第一和第二折叠扭力弹簧中的每一个基本上平行于所述旋转轴配置。

5.如权利要求1所述的MEMS传感器，其中：

所述可动部件适于相对于位于所述可动部件的第一和第二端部之间的旋转轴运动；

所述第一和第二折叠扭力弹簧中的每一个包括基本上平行于所述旋转轴排列的多个段，所述段通过条部件以蛇形链接在一起。

6.如权利要求5所述的MEMS传感器，其中所述条部件中的每一个表现出第一长度，所述第一长度小于所述段的第二长度。

7.如权利要求5所述的MEMS传感器，其中所述第一和第二折叠扭力弹簧中的所述每一个包括至少三段。

8.如权利要求1所述的MEMS传感器，其中：

所述可动部件包括延伸穿过所述可动部件的开口，所述开口由所述可动部件的内边缘部分界定；

所述悬置锚在所述开口中居中；

所述第一折叠扭力弹簧具有耦合到所述悬置锚第一侧面的第一端部和耦合到所述可动部件的所述内边缘部分的第二端部；以及

所述第二折叠扭力弹簧具有耦合到所述悬置锚的第二侧面的第三端部和耦合到所述可动部件的所述内边缘部分的第四端部，所述悬置锚的第二侧面与所述第一侧面相对。

9.如权利要求1所述的MEMS传感器，其中：

所述可动部件适于相对于位于所述可动部件的第一和第二端部之间的旋转轴运动；并且

所述传感器进一步包括配置在所述可动部件下方位于所述基底上的感测部件，所述感测部件适于检测所述可动部件绕所述旋转轴沿垂直于所述基底的平面的轴从第一位置到第二位置的运动。

10.一种包括微机电系统MEMS传感器的设备，所述MEMS传感器包括：

基底；

可动部件，在所述基底的表面之上以间隔开的关系布置，所述可动部件适于相对于位于所述可动部件的第一和第二端部之间的旋转轴运动；

悬置锚，形成在所述基底的所述表面上，所述悬置锚具有位于所述旋转轴上的质心；

第一折叠扭力弹簧，使得所述可动部件与所述悬置锚相互连接；以及

第二折叠扭力弹簧，使得所述可动部件与所述悬置锚相互连接，所述第一和第二折叠扭力弹簧具有基本相同的形状，所述第二折叠扭力弹簧基本上被取向为相对于所述第一折叠扭力弹簧绕所述悬置锚的所述质心旋转对称，并且所述第一和第二折叠扭力弹簧中的每一个包括基本上平行于所述旋转轴排列的多个段，所述段通过条部件以蛇形链接在一起。

11.如权利要求10所述的设备，其中所述第二折叠扭力弹簧位于相对于所述第一折叠扭力弹簧绕所述悬置锚的所述质心旋转大约180度的取向上。

12.如权利要求10所述的设备，其中每个所述条部件表现出第一长度，所述第一长度小于所述段的第二长度。