[发明专利]一种新型喷油泵控制阀套及其表面处理方法

权利要求书

1.一种新型喷油泵控制阀套；包括钢质阀套本体（10）；其特征在于该阀套本体的表面包覆有纳米多层梯度复合膜，该复合膜包含三层结构，底层为粘结在阀套本体表面的金属铬打底层，厚度为0.1~2um；中间层为CrN成分梯度过渡层，厚度为0.2~2um；外表层为CrN/MoN纳米多层复合结构层，厚度为1.4~10um。

2.根据权利要求1所述的一种新型喷油泵控制阀套，其特征在于：所述金属铬打底层由铬原子组成；所述CrN成分梯度过渡层中，氮原子与铬原子的比例为0~1:1；所述CrN/MoN纳米多层复合结构层中氮化铬与氮化钼的分子数量比例为1~2:1，其中CrN中铬原子与氮原子的比例为0.5~1:1，MoN中钼原子与氮原子的比例为0.5~2:1。

3.根据权利要求2所述的一种新型喷油泵控制阀套，其特征在于：所述纳米多层梯度复合膜的厚度为1.7~10μm。

4.一种新型喷油泵控制阀套的表面处理方法；包括以下步骤：

1）溶液清洗

采用金属除油清洗剂对钢质阀套本体进行超声波清洗30分钟；

2）离子清洗

清洗后的阀套本体放入闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备的真空腔中，进行离子溅射清洗，时间为20~60分钟；

3）镀膜

在闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备的真空腔中，依次对阀套本体进行3~30分钟的铬离子溅射以形成金属铬打底层， 逐渐通入氮气进行20~80分钟的铬离子溅射以形成CrN成分梯度过渡层，保持氮气量不变进行45~180分钟铬离子溅射、钼离子溅射以形成CrN/MoN纳米多层复合结构层。

5.根据权利要求4所述的一种新型喷油泵控制阀套的表面处理方法，其特征在于：形成CrN/MoN纳米多层复合结构层时，阀套本体由工件架托盘带动着运动，以利于复合膜的厚度均匀。