[发明专利]包含石英喷管和原料供给金属配管的玻璃母材的制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃母材的制造装置，其包含生成火焰的石英喷管和向该石英喷管供给原料的金属配管。

背景技术

在日本特开2001-89161号公报中，记载了制造合成石英玻璃锭(ingot)的技术。在该技术中，在原料供给装置中使液体的硅化合物气化，在进行流量控制的同时与载料气体一起经过金属配管向石英玻璃喷管供给，将在利用氢氧焰进行的气相水解反应中生成的二氧化硅微粒向标靶上堆叠，并且进行熔融玻璃化，从而制造合成石英玻璃锭。在使一端与原料气体供给装置连接的金属配管的另一端，连接有构成石英玻璃喷管的石英管的一端。

另外，在日本特开平5-301720号公报中，记载了双重管构造的玻璃喷管连接用软管，其作为与在这种玻璃微粒的生成中使用的喷管连接的配管，设置在玻璃喷管和不锈钢制原料气体供给固定配管之间。该双重管构造的玻璃喷管连接用软管经由特氟隆(注册商标)制联管节与玻璃喷管的原料供给口连接。

另外，在日本特开平8-81234号公报中，记载了将在光纤母材的制造中使用的石英制喷管与原料气体的供给用配管、燃烧气体的各供给用配管以及密封气体的供给用配管连接的连接构造。在该连接构造中，配管的与石英制的喷管连接这一侧的一部分由氟树脂制作，其他部分由不锈钢制作。

如上述所示，作为生成玻璃微粒的喷管，通常使用由石英玻璃构成的喷管，作为气体的供给配管使用金属配管。构成上述石英玻璃喷管的石英管和金属配管不直接连接，而是经由由氟树脂等具有一定程度的耐热性及耐腐蚀性的树脂形成的接头进行连接。但是，由氟树脂构成的接头虽然具有大致200℃左右的耐热性，但如果使用温度较高，则老化加快及产生密封部的松弛，因此，使得温度不很高，在抑制为大约100℃左右的环境下使用，以使得可以长时间稳定地使用。另一方面，如果原料气体的温度升高，则存在玻璃微粒的堆叠密度变高、收获率升高的倾向，因此，期望尽可能提高原料气体的温度，提高生产率。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种包含石英喷管和原料供给金属配管的玻璃母材的制造装置，其可以尽可能提高使用温度，提高生产率。

为了实现目的，而提供一种玻璃母材的制造装置，其包含喷射火焰的石英喷管以及向石英喷管供给气体的金属配管，其中，在构成石英喷管的石英管的一端包含由石英玻璃构成的第一凸缘，在金属配管的一端包含金属的第二凸缘，石英管和金属配管以使第一凸缘和第二凸缘彼此抵接并密封的状态连接。在此情况下，也可以在抵接面彼此之间夹持有碳制的垫圈。另外，也可以使各个抵接面中的一个为凹形状，另一个为凸形状，凹形状以及凸形状彼此嵌合。

另外，提供一种玻璃母材的制造装置，其包含喷射火焰的石英喷管以及向石英喷管供给气体的金属配管，其中，构成石英喷管的石英管或者金属配管中的某一方包含形成于连接端上的异径部，在使另一方的连接端与异径部嵌合，另一方的连接端的端面和异径部的底面接近或者对接，将异径部和与异径部嵌合的另一方的连接端之间粘接的状态下，使石英管和金属配管连接。

另外，提供一种玻璃母材的制造装置，其包含喷射火焰的石英喷管以及向石英喷管供给气体的金属配管，其中，构成石英喷管的石英管或者金属配管中的某一方，包含形成于连接端上的异径部，该异径部的内周形成内螺纹，在另一方的连接端的外周上形成外螺纹，在通过向异径部中螺入连接端，从而使另一方的连接端的端面和异径部的底面接近或者对接的状态下，使石英管和金属配管连接。

在上述情况下，可以在端面和底面之间夹持有碳制的垫圈，也可以使端面和底面中的一个为凹形状，另一个为凸形状，凹形状以及凸形状彼此嵌合。

而且，提供一种玻璃母材的制造装置，其包含喷射火焰的石英喷管以及向石英喷管供给气体的金属配管，其中，金属配管包含在其一端形成的异径部，在如下状态下使石英管和金属配管连接：构成石英喷管的石英管的连接端与异径部嵌合，在异径部和石英管之间安装筒状的按压部件，设置于按压部件和异径部的底面之间的碳制的垫圈被按压部件的端面和异径部的底面夹持，发生弹性变形，垫圈与异径部的内周面和石英管的外周面紧密接触。

发明的效果

根据本发明的石英玻璃母材的制造装置，可以不经由树脂配管或树脂接头而将构成石英喷管的石英管和金属配管直接连接以及进行密封。由此，可以在确保良好的密封状态的同时，从金属配管以高温向石英管供给原料气体等气体，可以在用于形成玻璃微粒堆叠体而生成玻璃微粒等并进行堆叠时，提高收获率，并提高生产率。

附图说明

图1是表示玻璃母材的制造装置的例子的概念图。