[发明专利]一种新型喷油器油针及其表面处理方法

权利要求书

1.一种新型喷油器油针，包括钢质油针(10)；其特征在于油针的外表面沉积着一层厚度为1.2～3μm的无氢非晶碳复合膜，该复合膜包含三层结构，底层为包覆在油针钢质基体表面的纯金属原子过渡层，中间层为碳原子和金属原子组成的成分梯度层，外表层为掺入微量金属原子的纳米多层非晶碳膜；上述金属原子是铬Cr，或钛Ti，或锆Zr，或银Ag。

2.根据权利要求1所述的一种新型喷油器油针，其特征在于：所述纯金属原子过渡层的厚度为0.1～1.5um：所述成分梯度层的厚度为0.5～2um，其中的碳原子与金属原子的比例为0～60∶1；所述纳米多层非晶碳膜的厚度为0.6～2.5um，其中的碳原子与金属原子的比例为50～80∶1。

3.一种新型喷油器油针的表面处理方法，按照以下步骤进行：

1)采用金属除油清洗剂对油针进行超声波清洗30分钟，然后烘干；

2)预溅射清洗

清洗烘干后的油针放入闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备的真空腔中，进行离子溅射清洗，时间为30～60分钟；

3)镀膜

在闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备的真空腔中，依次对油针进行10～20分钟的金属原子溅射以形成纯金属原子过渡层，50～80分钟的碳原子溅射与金属原子溅射以形成成分梯度层，90～120分钟金属原子溅射以及碳原子溅射以形成掺入微量金属原子的纳米多层非晶碳膜；

上述金属原子是铬Cr，或钛Ti，或锆Zr，或银。

4.根据权利要求3所述的一种新型喷油器油针的表面处理方法，其特征在于：所述步骤2)中须向真空腔内通入氩气，纯度为99.99％，流量为25～35sccm。

5.根据权利要求4所述的一种新型喷油器油针的表面处理方法，其特征在于：所述步骤3)中须向真空腔内通入氩气，纯度为99.99％，流量为15～30sccm。