[发明专利]外力检测方法和外力检测装置

权利要求书

1.一种使用传感器的外力检测方法，其特征在于：

所述传感器包括：

一端被支承在基座上的悬臂式的压电板；

为了使该压电板振动，分别设置于该压电板的一面侧和另一面侧的一个激励电极和另一个激励电极；

与所述一个激励电极电连接的振荡电路；

设置于所述压电板中从所述一端离开的部位，且与所述另一个激励电极电连接的可变电容形成用的可动电极；和

固定电极，其与所述压电板隔开间隔，按照与所述可动电极相向的方式设置并且与所述振荡电路连接，通过根据压电板的弯曲而与所述可动电极之间的电容变化，来形成可变电容，

所述外力检测方法包括：

按照与作为目标测定对象的外力的方向正交的面、和所述可动电极的所述压电板的长度方向所成的角度为30°～60°的方式，来设定所述传感器的工序；

通过频率信息检测部检测出作为与所述振荡电路的振荡频率对应的频率信息的信号的工序；和

根据在所述频率信息检测部检测出的频率信息，评价作用在所述压电板上的外力的工序。

2.如权利要求1所述的外力检测方法，其特征在于：

与作为目标测定对象的外力的方向正交的面和所述可动电极的所述压电板的长度方向所成角度是40°～50°。

3.如权利要求1所述的外力检测方法，其特征在于：

为了防止外力施加在所述压电板上时设置有激励电极的部位弯曲，在所述基座上设置支承所述压电板的下表面一侧的激励电极与可动电极之间的部位的支承部。

4.如权利要求3所述的外力检测方法，其特征在于：

所述支承部的前端部与压电板被相互固定。

5.如权利要求1所述的外力检测方法，其特征在于：

在所述容器内的设有固定电极的一侧的内壁部配备突起部，该突起部在所述压电板过度弯曲时，与该压电板的一端和另一端之间的靠一端侧的部位接触以限制该部位的弯曲，由此避免压电板的另一端碰撞到容器的内壁部。

6.如权利要求5所述的外力检测方法，其特征在于：

对于所述突起部中的与所述压电板相对的面，压电板的长度方向的纵断面的形状是山形。

7.一种外力检测装置，是检测出作用在压电板上的外力的外力检测装置，其特征在于，包括：

一端被支承在基座上的悬臂式的所述压电板；

为了使该压电板振动，分别设置于该压电板的一面侧和另一面侧的一个激励电极和另一个激励电极；

与所述一个激励电极电连接的振荡电路；

设置于所述压电板的另一端，且与所述另一个激励电极电连接的可变电容形成用的可动电极；

固定电极，其与所述压电板隔开间隔，按照与所述可动电极相向的方式设置并且与所述振荡电路连接，通过根据压电板的弯曲而与所述可动电极之间的电容变化，来形成可变电容；

用来检测出作为与所述振荡电路的振荡频率对应的频率信息的信号的频率信息检测部；和

显示作为目标测定对象的外力的方向的方向显示部，

与所述作为目标测定对象的外力的方向正交的面、和所述可动电极的所述压电板的长度方向所成的角度被设定在30°～60°，

形成从所述振荡电路经过所述一个激励电极、所述另一个激励电极、所述可动电极和所述固定电极后返回所述振荡电路的振荡环，

在所述频率信息检测部检测出的频率信息用来评价作用在压电板上的外力。

8.如权利要求7所述的外力检测装置，其特征在于：

作为由所述压电板、激励电极、可动电极和固定电极形成的组，设置第一组和第二组，

分别与第一组和第二组对应地设置振荡电路，

所述频率信息检测部求出按照与所述第一组对应的振荡频率和与所述第二组对应的振荡频率的差的信号。

9.如权利要求7所述的外力检测装置，其特征在于：

与作为所述目标测定对象的外力的方向正交的面、和所述可动电极的所述压电板的长度方向所成的角度是40°～50°。

10.如权利要求7所述的外力检测装置，其特征在于：

为了防止外力施加在所述压电板上时设置有激励电极的部位弯曲，在所述基座上设置支承所述压电板的下表面一侧的激励电极与可动电极之间的部位的支承部。