[发明专利]动态非均向镀膜的白光LED外延层结构无效
| 申请号： | 201210014709.8 | 申请日： | 2012-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN102723409A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 许并社;李学敏;刘旭光 | 申请（专利权）人： | 许并社;李学敏;刘旭光 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 动态 镀膜 白光 led 外延 结构 | ||
1.一种动态非均向镀膜的白光LED外延层结构，包括蓝宝石基板（1）、N型氮化镓合并层（3）、多层量子阱氮化铟镓主动层（4）、以及P型氮化镓层（5）；其特征在于：还包括动态非均向氮化铝缓冲层（2）；其中，动态非均向氮化铝缓冲层（2）堆栈于蓝宝石基板（1）上；N型氮化镓合并层（3）堆栈于动态非均向氮化铝缓冲层（2）上；多层量子阱氮化铟镓主动层（4）堆栈于N型氮化镓合并层（3）上；P型氮化镓层（5）堆栈于多层量子阱氮化铟镓主动层（4）上。
2.根据权利要求1所述的动态非均向镀膜的白光LED外延层结构，其特征在于：所述蓝宝石基板（1）是采用蓝宝石制成的。
3.根据权利要求1或2所述的动态非均向镀膜的白光LED外延层结构，其特征在于：所述动态非均向氮化铝缓冲层（2）是采用氮化铝制成的。
4.根据权利要求1或2所述的动态非均向镀膜的白光LED外延层结构，其特征在于：所述动态非均向氮化铝缓冲层（2）是利用射频磁控溅镀系统以动态非均向镀膜技术沉积制作而成的。
5.根据权利要求3所述的动态非均向镀膜的白光LED外延层结构，其特征在于：所述动态非均向氮化铝缓冲层（2）是利用射频磁控溅镀系统以动态非均向镀膜技术沉积制作而成的。
6.根据权利要求1或2所述的动态非均向镀膜的白光LED外延层结构，其特征在于：所述动态非均向氮化铝缓冲层（2）的微结构型态是藉由基板的周期旋转而雕塑出的分立的倾斜柱状微结构或Z字形微结构或多弯折形微结构或螺旋状微结构。
7.根据权利要求3所述的动态非均向镀膜的白光LED外延层结构，其特征在于：所述动态非均向氮化铝缓冲层（2）的微结构型态是藉由基板的周期旋转而雕塑出的分立的倾斜柱状微结构或Z字形微结构或多弯折形微结构或螺旋状微结构。
8.根据权利要求4所述的动态非均向镀膜的白光LED外延层结构，其特征在于：所述动态非均向氮化铝缓冲层（2）的微结构型态是藉由基板的周期旋转而雕塑出的分立的倾斜柱状微结构或Z字形微结构或多弯折形微结构或螺旋状微结构。
9.根据权利要求5所述的动态非均向镀膜的白光LED外延层结构，其特征在于：所述动态非均向氮化铝缓冲层（2）的微结构型态是藉由基板的周期旋转而雕塑出的分立的倾斜柱状微结构或Z字形微结构或多弯折形微结构或螺旋状微结构。
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