[发明专利]具有微致动器的磁头折片组合及磁盘驱动单元

权利要求书

1.一种磁头折片组合，包括：

磁头；

具有一挠性件的悬臂件，所述挠性件具有前部和尾部，若干悬臂导线从所述尾部延伸至所述前部，所述尾部包括用于支撑所述磁头的悬臂舌片、位于所述悬臂舌片两侧并向所述前部延伸的两舌片侧部；以及

安装于所述舌片侧部上的微致动器，所述微致动器包括两个独立的压电元件；

其特征在于：每一所述舌片侧部包括与所述悬臂舌片相连的细杆、用于安装所述压电元件的安装区域，以及与所述细杆和所述安装区域相连的连接部，所述安装区域之外侧设有支撑杆，所述支撑杆一端通过所述连接部与所述细杆相连，所述支撑杆的另一端与所述安装区域相连；所述细杆与所述悬臂舌片之间形成第一间隙，所述支撑杆与所述安装区域之间形成第二间隙，所述悬臂导线覆盖于所述细杆和所述支撑杆之上，当所述安装区域上的所述压电元件被驱动时，所述连接部随所述压电元件发生形变，从而使所述细杆带动所述悬臂舌片上的所述磁头绕万向节旋转。

2.如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于：所述细杆与所述安装区域通过所述连接部呈柔性相连，所述支撑杆从所述连接部处弯折延伸。

3.如权利要求2所述的磁头折片组合，其特征在于：两所述细杆分别位于所述悬臂舌片的两侧，所述细杆与所述悬臂舌片前端相连，两所述安装区域分别位于所述悬臂舌片的前方两侧。

4.如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于：所述磁头与所述压电元件相距一预定距离。

5.如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于：所述悬臂舌片设有多个第一连接触点，用以分别与所述磁头和一前置放大器电性连接；所述安装区域设有多个第二连接触点，用以分别与所述压电元件和所述压电元件的驱动系统电性连接。

6.如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于：每一所述压电元件上设有至少两个元件触点，所述元件触点通过焊球或金线焊接与所述第二连接触点相连。

7.如权利要求6所述的磁头折片组合，其特征在于：所述元件触点的横截面呈梯形或方形。

8.如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于：所述挠性件还包括位于所述细杆和所述支撑杆的两侧的一对外触发杆，所述外触发杆的一端与所述悬臂舌片相连，所述外触发杆的另一端与所述挠性件相连，以支持并保持所述悬臂舌片上的所述磁头的稳定。

9.如权利要求8所述的磁头折片组合，其特征在于：所述外触发杆中部形成弹簧结构，所述弹簧结构使得位于所述弹簧结构的两侧的所述外触发杆部位弹性连接并维持预定刚度。

10.如权利要求8所述的磁头折片组合，其特征在于：所述外触发杆中部形成弯曲结构，所述弯曲结构使得位于所述弯曲结构的两侧的所述外触发杆部位位于同一平面。

11.如权利要求8所述的磁头折片组合，其特征在于：所述外触发杆与所述支撑杆存在第三间隙。

12.如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于：所述压电元件包括：

衬底层；

形成于所述衬底层之上的第一、第二电极层；

由所述第一、第二电极层层夹的压电层；

设置于所述第一电极层和所述衬底层之间的粘结层；以及

用于包覆以上层体的包覆层。

13.如权利要求12所述的磁头折片组合，其特征在于：所述粘接层为绝缘粘结层，用于粘结所述衬底层和所述第一电极层并支撑所述压电层。

14.如权利要求12所述的磁头折片组合，其特征在于：所述衬底层包括绝缘层以及形成于所述绝缘层之上的金属层，所述金属层用于机械支撑所述第一、第二电极层及所述压电层。

15.如权利要求14所述的磁头折片组合，其特征在于：所述绝缘层由硅材料制成，所述粘结层由镀膜聚合绝缘材料制成。

16.如权利要求12所述的磁头折片组合，其特征在于：所述第一、第二电极层由金或铂及合金制成。

17.如权利要求12所述的磁头折片组合，其特征在于：所述压电层的厚度范围是1μm～5μm，所述粘结层的厚度范围是1μm～15μm。